[发明专利]薄膜检漏箱有效
申请号: | 00810832.3 | 申请日: | 2000-07-06 |
公开(公告)号: | CN1364232A | 公开(公告)日: | 2002-08-14 |
发明(设计)人: | 鲁迪·维德特;托马斯·阿贝伦 | 申请(专利权)人: | 因菲康有限公司 |
主分类号: | G01M3/32 | 分类号: | G01M3/32 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 孙征 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种薄膜检漏箱,它具有两个相互铰接的框(2、3)、张紧在框内的薄膜(4、5)、一由薄膜构成的测试腔(8)、一位于框之间的密封件(12,13,18)和至少一个,优选多个在两个框(2,3)中的至少一个上的孔(7),这些孔可与一真空泵(15、16、22)的入口连接;为了改善检漏箱的关闭特性,建议,设一独立于测试腔(8)的可抽真空的边缘区(14),孔(7)通入此边缘区内。 | ||
搜索关键词: | 薄膜 检漏 | ||
【主权项】:
1.薄膜检漏箱(1),具有两个相互铰链连接的框(2,3)、张紧在框内的薄膜(4,5)、一由薄膜构成的测试腔(8)、一位于框之间的密封件(12,13,18)和至少一个,优选多个在两个框(2,3)中至少一个上的孔(7),该孔可以与一真空泵(15,16,22)的入口连接,其特征为:设有一独立于测试腔(8)的、可抽真空的边缘区(14),孔(7)通入该边缘区内。
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