[发明专利]原子力显微镜及其驱动方法无效
| 申请号： | 00809763.1 | 申请日： | 2000-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN1359468A | 公开（公告）日： | 2002-07-17 |
| 发明（设计）人： | 黄圭昊;金相国;金裕光 | 申请（专利权）人： | 大宇电子株式会社 |
| 主分类号： | G01N13/16 | 分类号： | G01N13/16;G01B7/34 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 韩宏 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供来一种能在大气压力下以高分辨率高速观察样品表面的外形的原子力显微镜(AFM)及其驱动方法,该AFM包括光束源单元、光束扫描器、扫描探头单元(或矩阵),光束检测单元、驱动控制单元及显示单元。该驱动方法包括有步骤响应参照信号振动设在各该扫描探头的第一致动器;检测在其自由端上设有尖端的悬臂的弯曲量;以及根据该悬臂的弯曲量将伺服信号传输给第二致动器。 | ||
| 搜索关键词： | 原子 显微镜 及其 驱动 方法 | ||
【主权项】：
1、一种能在大气压力下以高分辨率高速观察样品表面的外形的原子力显微镜，包括：多个用于测定该样品表面的扫描探头，其中各该扫描探头包含具有尖端及第一与第二致动器的悬臂；用于检测从所述各该扫描探头反射的光束以响应第二信号将其转换成第一信号的装置；以及用于通过生成第三与第四信号来驱动扫描探头及检测关于样品表面的外形的信息的装置；其中该第一致动器响应第三信号而执行轻拍操作，第二致动器响应第四信号而执行定位操作，且该第三信号的频率高于该第四信号的频率。
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