[发明专利]使用波数域反射技术及背景振幅减少和补偿的多层共焦干涉显微术

摘要

一物体(112)内和/或上的一区域的在焦图象通过以下方法被从离焦图象分离出来,从而既减小了该物体的图象信息中的误差从一个宽带点光源(90)产生一个探测光束(P22B)和一个参考光束(R22B);产生参考光束的反对称空间性质(R32B);把探测光束通过第一色散元件以将该探测光束转换成聚焦至该物体内/或上的一线的一光束;产生一个在焦返回探测光束;产生在焦返回探测光束的反对称空间性质(P32B);空间滤波在焦返回探测光束(P42A);通过一色散元件以将该探测光束(P42C)聚焦至一检测器系统的一检测器平面中的一线;空间滤波该参考光束(R42A)并通过一色散元件以将该参考光束(R42C)聚焦至该检测器平面中的一线;空间滤波来自一离焦图象点的一光束(P62A)并通过该色散元件(P62C);使在该检测器平面中的空间滤波的参考光束(R42C)与来自该离焦图象点的在检测器平面中的空间滤波的光束(P62C)发生干涉及与在该检测器平面的空间滤波的在焦返回探测光束(P42C)发生干涉;通过检测器系统(114)检测在检测器平面的空间滤波的参考光束与在检测器平面的空间滤波的(R42C)在焦返回探测光束之间的一个干涉项作为该空间滤波的在焦返回探测光束的—振幅,从而在检测器平面的空间滤波的离焦图象光束(P62C)的振幅与在检测器平面的空间滤波的参考光束(R42C)的振幅之间的干涉项的幅度被明显地减小,由此减小了由检测器系统(114)所产生的表示该物体的图象信息的数据中的误差。

主权项

1、一种把在一物体内和/或上的一信息承载区的在焦图象从离焦图象区分出来以减小在确定由在该物体内和/或上的信息承载区表示的信息中的误差的方法，它包括以下步骤：(a)从一个单色点辐射光源的阵列产生一个探测光束和一个参考光束；(b)通过将该探测光束引至该信息承载区内和/或上的在焦图象点的一阵列而产生一个在焦返回探测光束；(c)产生在焦返回探测光束的反对称空间性质；(d)产生一个在焦参考光束；(e)产生在焦参考探测光束的反对称空间性质；(f)使该在焦参考光束与来自多个离焦图象点的光束发生干涉；(g)使在焦参考光束与在焦返回探测光束发生干涉；(h)通过借助于一检测器的检测器元件检测该在焦探测返回光束的复振幅作为干涉数据而减少由该检测器产生的数据中的系统和统计误差以表示确定的该信息，其中该干涉数据包括一在该在焦参考光束和该在焦返回探测光束之间的一干涉项和在该与离焦图象点相关联的离焦图象光束与在焦参考光束的对应部分之间的振幅显著减小的另一干涉项。