[实用新型]片式元件激光微调加工装置无效
申请号: | 00251675.6 | 申请日: | 2000-09-13 |
公开(公告)号: | CN2448504Y | 公开(公告)日: | 2001-09-19 |
发明(设计)人: | 何惠阳;田兴志;张景旭;李志来;董吉洪;李慧敏 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;广东风华高新科技股份有限公司 |
主分类号: | B23K26/00 | 分类号: | B23K26/00 |
代理公司: | 中国科学院长春专利事务所 | 代理人: | 梁爱荣 |
地址: | 130022 *** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本实用新型属于机械领域,涉及一种对片式电阻、片式电容激光生产设备的改进。目的在于解决生产设备中光学系统垂直布置,设备整体高度大、零部件结构复杂,加工、调整不便的缺点,以及光学系统平台与机架之间固定连接,不便进行高低调节的缺点。提供一种片式元件激光微调加工,采用光路水平配置,设备整体高度低,光学系统平台与机架之间采用三点可调支承,焦点调节方便。适用用于片式电阻、片式电容生产领域。 | ||
搜索关键词: | 元件 激光 微调 加工 装置 | ||
【主权项】:
1、一种片式元件激光微调加工装置,它由供片机构1、取片机构2、检平机构3、输片机构4、送进机构5、探卡机构6、光学系统及调节机构7、主体机架8、控制系统9构成,其特征在于:光学系统及调节机构7由聚焦镜头10、Y向扫描振镜12、X向扫描振镜13、分光镜14、监视反射镜15、变焦镜头16、摄象器件17、扩束器18、衰减器19、反射镜20、21、激光器22、螺柱23、螺母24、27、球垫25、26、光学平台28、监视器29组成,光学系统及调节机构7呈水平分布状态,即激光器22、反射镜21、20,衰减器19、扩束器18、摄象器件17、变焦镜头16、监视反射镜15、分光镜14、Y向扫描振镜12、X向扫描振镜13它们的光轴等高,且直接安装在光学平台28的一个平面上,变焦镜头16与摄象器件17直接相连接,光学平台28与螺柱23相连,通过螺母27、球垫26、25,螺母24与主体机架8相连,光学平台28下面两端有三个螺柱23通过螺纹与其相连,在螺柱23上部螺纹部分装有螺母27,螺母27下方有球垫26,球垫26的上面与螺母27的下面接触,球垫26的下面与主体机架8的上平面相接触,螺柱23透过主体机架8上部平板的通孔,在该平板下方螺柱23的螺纹上安置有球垫25,球垫25上面与主体机架8上平板的下面接触,在球垫25下部和螺柱23上安置有螺母24,螺母24的上面与球垫25的下面接触。
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