[发明专利]酚/脂环的共聚物和光致抗蚀剂有效
| 申请号： | 00134877.9 | 申请日： | 2000-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN1297167A | 公开（公告）日： | 2001-05-30 |
| 发明（设计）人： | G·G·巴克雷;A·攀德亚;王越;A·扎姆皮尼;G·G·腾格;毛志彪 | 申请（专利权）人： | 希普雷公司 |
| 主分类号： | G03F7/033 | 分类号： | G03F7/033 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 任宗华 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及含有酚和含脂环基的不稳定感光酸酯的重复单元的新聚合物,优选可适当含有7－约20个碳原子的庞大基团,如烷基金刚烷基、乙基葑基、三环癸烷基,或蒎基。本发明的聚合物有利于用作化学增强正性作用抗蚀剂的组份。 | ||
| 搜索关键词： | 共聚物 光致抗蚀剂 | ||
【主权项】：
1．一种光致抗蚀剂组合物包括光敏组份和含有一种聚合物的树脂粘合剂，该聚合物包括重复单元1)一种含有分子体积至少约为125A°3的叔酯脂环基的不稳定感光酸酯基，不稳定感光酸酯基存在的量为基于聚合物单元总量的约1-50摩尔％；和2)酚基存在的量为基于聚合物单元总量的约20-95摩尔％。
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