[发明专利]制造存储器硬盘用的抛光组合物和抛光方法无效
申请号: | 00130570.0 | 申请日: | 2000-09-28 |
公开(公告)号: | CN1122093C | 公开(公告)日: | 2003-09-24 |
发明(设计)人: | 大桥圭吾 | 申请(专利权)人: | 不二见株式会社 |
主分类号: | C09G1/02 | 分类号: | C09G1/02;G11B5/84;H01L21/304 |
代理公司: | 上海专利商标事务所 | 代理人: | 白益华 |
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摘要: | 本发明公开了一种抛光组合物,用于存储器硬盘用的磁盘基片,该抛光组合物包含:(a)组合物总重量的0.1-35%(重量)胶体二氧化硅作为磨料;(b)组合物总重量的0.04-2.2%(重量)硝酸铁作为抛光促进剂;(c)组合物总重量的0.4-22%(重量)柠檬酸作为稳定剂;(d)组合物总重量的0.155-9.3%(重量)过氧化氢作为抛光促进助剂;(e)水。 | ||
搜索关键词: | 制造 存储器 硬盘 抛光 组合 方法 | ||
【主权项】:
1.一种抛光组合物,用于存储器硬盘用的磁盘基片,该抛光组合物包含:(a)组合物总重量的0.1-35%(重量)胶体二氧化硅作为磨料;(b)组合物总重量的0.04-2.2%(重量)硝酸铁作为抛光促进剂;(c)组合物总重量的0.4-22%(重量)柠檬酸作为稳定剂;(d)组合物总重量的0.155-9.3%(重量)过氧化氢作为抛光促进助剂;(e)水。
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