[发明专利]表面处理方法和设备、汽相淀积材料及稀土金属基永磁铁有效
| 申请号： | 00108341.4 | 申请日： | 2000-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN1276440A | 公开（公告）日： | 2000-12-13 |
| 发明（设计）人： | 西内武司;栃下佳己;菊井文秋;木泽光央 | 申请（专利权）人： | 住友特殊金属株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01F7/02;H01F41/32 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 孙征 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的表面处理方法是在汽相淀积控制气体已供送到至少靠近材料熔化/蒸发源和处理室内的产品的区域的状态下,通过蒸发汽相淀积材料。这样,不需要花较长时间来提高真空度,而且不需要使用专门的设备既可在理想的产品上,形成稳定的汽相淀积膜。本发明的一种表面处理设备包括用来熔化和蒸发包含汽相淀积控制气体的线形汽相淀积材料的熔化/蒸发源。熔化/蒸发源和产品盛放部件布置在表面处理室的处理室内。该设备还包括汽相淀积材料供送装置。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 处理 方法 设备 汽相淀积 材料 稀土金属 永磁 | ||
【主权项】：
1.一种利用容易氧化的汽相淀积材料在产品的表面上形成汽相淀积膜的表面处理方法，其步骤包括，在汽相淀积控制气体已供送到至少靠近材料熔化/蒸发源和处理室内的产品的区域的状态下，蒸发汽相淀积材料。
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