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- [发明专利]供气式内燃机-CN98100735.X无效
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李健
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李健
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1998-03-16
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1999-04-14
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F02B53/00
- 供气式内燃机属于机械领域，供气系统和燃烧系统分开工作,提供单方向连续旋转输出的动力,以汽油,柴油,压缩天然气及液氢等为燃料的内燃机。供气系统可充分利用高速运动物体的迎风阻力。燃烧系统使燃料燃烧充分。转子或环型发动机的结构使作功连续,热效率提高,功率加大。无进排气门,无活塞连杆曲轴组合设计既降低噪音又降低了发动机高度。燃烧室不用机油润滑减少了空气污染。是一种适用范围很广的内燃机。
- 供气内燃机
- [发明专利]表面晶体缺陷的测量方法及装置-CN96180218.9无效
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武田一男;石田英嗣;平岩笃;但马武;渡濑进一郎
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株式会社日立制作所;日立东京电子株式会社
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1996-03-15
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1999-04-14
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G01B11/30
- 一种通过检测晶体内缺陷的散射光进行测量的方法,可以测量试样整个表面上的缺陷尺寸和以小于波长的分辨率测量缺陷的深度。用对试样的侵入深度相差3倍以上的两种波长对试样进行扫描和照射,根据不同波长分别测量来自内部缺陷的散射光,根据长波长的散射光强度导出缺陷尺寸,根据其散射光强度之比导出缺陷深度,并在基片面内分布上显示深度和尺寸。而且,对于根据上述宽区域测量检测的特定缺陷位置,移动摄影机位置进行扫描,用两种波长观察缺陷的形态,从该缺陷的两波长散射光图像数据可同样地导出缺陷的深度和尺寸。根据本发明,可以进行试样整个表面的缺陷尺寸和深度检测,也可以一个缺陷为单位进行尺寸和深度检测。
- 表面晶体缺陷测量方法装置
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