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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]装载工位-CN201280055812.5有效
发明人： L.F.沙罗克;T.贝于尔;C.J.丹斯维茨;W.A.拉桑特 -专利权人：布鲁克斯自动化公司
申请日： 2012-09-14 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： B65G49/07 文献下载
摘要：基板加载工位，其具有框架，框架形成腔室，腔室配置成保持受控制的环境；以及传送机器人，其连接到框架；以及，一个或多个基板盒保持位置，每个能具有安置于框架中的基板盒保持架。一个或多个基板盒保持位置中的每一个配置成在可与传送机器人连通的预定位置可移除地支承相应基板盒以实现在相应盒与传送机器人之间的基板传送，其中一个或多个基板盒保持位置配置成实现一个或多个基板盒保持架与其它基板盒保持架的可互换性以便改变基板加载工位的基板盒保持容量。
装载

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