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[发明专利]坚固的流体耦合装置-CN202180059154.6在审
发明人： B·A·萨姆斯;D·U·H·特雷斯;V·G·特尔卡;A·I·厄肖夫;T·W·德赖森;S·金卡尔 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-07-13 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： F16J15/06 文献下载
摘要：一种目标材料供应装置，包括：第一流体流动部件和第二流体流动部件(1122，1126)，它们当联结在一起时限定轴向流动路径，其中轴向流动路径在目标材料流体的源和喷嘴供应装置之间；以及耦合装置，其被配置为密封在第一流体流动部件和第二流体流动部件之间的接头。耦合装置包括具有限定内开口的环形形状的垫圈(1105)，当被安置和密封时该内开口是轴向流动路径的一部分。当垫圈被安置在第一流体流动部件和第二流体流动部件之间从而密封通过附接第一流体流动部件和第二流体流动部件而形成的接头时，从沿着轴向流动路径穿过垫圈内开口的目标材料流体施加到垫圈的压力改善了接头处的密封的气密功能。可选地，功能插入件，例如限流件(1160)能够被安置在垫圈中。
坚固流体耦合装置

[发明专利]用于光刻辐射系统的远紫外光源的混合液滴生成器-CN202180036798.3在审
发明人： B·A·萨姆斯;D·U·H·特雷斯;T·W·德赖森;H·H·博格雷维;B·M·约翰逊;V·G·特尔卡 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-04-26 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：一种液滴生成器喷嘴(800，820/830)，包括：金属本体(802，822)；邻近金属本体布置的金属装配件(812，823/833)；以及包括第一端和第二端的毛细管(804，824/834)。毛细管的第一端设置在金属装配件内，并且毛细管被配置从毛细管的第二端喷射材料的初始液滴。液滴生成器喷嘴还包括机电元件(808，828/838)和紧固件元件(810)，机电元件设置在金属本体内并耦接到毛细管的第一端，紧固件元件构造成围绕金属本体的一部分并围绕金属装配件夹紧。机电元件被配置成施加影响从毛细管的液滴生成的变化。毛细管的第二端从液滴生成器喷嘴的紧固件元件中的开口伸出。图8C的液滴生成器喷嘴830表示在与图8所示的横截面正交的横截面中的图8B所示的实施例。
用于光刻辐射系统紫外光源混合液生成器