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[发明专利]涂布系统-CN201910917581.8在审
发明人：布赖斯·安东;V·戈罗霍夫斯基 -专利权人：蒸汽技术公司
申请日： 2019-09-26 - 公布日： 2020-05-01 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：一种涂布系统，包含涂布室，该涂布室具有外围室壁、顶壁和底壁。该外围室壁、该顶壁和该底壁界定涂布腔体和室中心。等离子体源定位于该室中心处，其中该等离子体源包括中心阴极棒和围绕该中心阴极棒的多个阴极棒。该涂布系统还包含固持待涂布的多个基板的样品固持器。特征是，该样品固持器可在距该室中心第一距离处绕该室中心旋转。
系统

[发明专利]涂布系统-CN201910961722.6在审
发明人： V·戈罗霍夫斯基;G·卡马特;布赖斯·安东;K·鲁迪 -专利权人：蒸汽技术公司
申请日： 2019-10-11 - 公布日： 2020-05-01 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：一种涂布系统，包含涂布室，该涂布室具有外围室壁、顶壁和底壁。该外围室壁限定室中心。等离子体源定位在该室中心处。该涂布系统还包含固持多个待涂布基板的样品保持器，该样品保持器可在距该室中心的第一距离处绕该室中心旋转。第一隔离屏蔽件绕该室中心定位在距该室中心的第二距离处，该第一隔离屏蔽件带负电荷。
系统

[发明专利]真空涂覆和等离子体处理系统及用于涂覆衬底的方法-CN201410592209.1有效
发明人： V·戈罗霍夫斯基;W·格兰特;E·泰勒;D·胡梅尼克 -专利权人：蒸汽技术公司
申请日： 2014-10-28 - 公布日： 2018-09-18 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供了一种真空涂覆和等离子体处理系统及用于涂覆衬底的方法，其中真空涂覆和等离子体处理系统包括具有长边和短边的磁控管阴极。磁控管的磁极产生电磁屏障。至少一个远程电弧放电与磁控管阴极分离并且紧靠阴极而产生，以使得其被约束在与磁控管靶相邻的体积内。远程电弧放电平行于磁控管靶的长边延伸，并且由在一侧上的靶的表面和在所有其它侧上的电磁屏障界定。存在在电弧放电上方延伸并且跨越磁控管阴极的短边的远程电弧放电阴极罩和阳极罩。在等离子体组合件外部的是磁性系统，其产生延伸进入并且约束在衬底前方的等离子体的磁场线。本发明能够产生改进的膜特性，兼容性好，实现成本低。
等离子体处理系统磁控管阴极电弧放电真空涂覆衬底等离子体磁控管靶电磁屏障长边短边涂覆延伸磁极阴极电弧放电阴极磁性系统磁场线磁控管兼容性膜特性阳极罩组合件界定紧靠平行外部改进

[发明专利]低压电弧等离子体浸没涂层气相沉积和离子处理-CN201410095330.3有效
发明人： V·戈罗霍夫斯基;W·格兰特;E·泰勒;D·胡梅尼克 -专利权人：蒸汽技术公司
申请日： 2014-03-14 - 公布日： 2018-06-05 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本发明提供一种涂覆系统及在涂覆系统中涂覆衬底的方法，该涂覆系统包括真空腔室和涂覆组件。所述涂覆组件包括蒸汽源、衬底固持器、以电力方式耦合到阴极靶上的远程阳极，以及阴极腔室组件。所述阴极腔室组件包括阴极靶、可选的主要阳极以及将所述阴极靶从所述真空腔室隔离的护罩。所述护罩界定了用于将远程电弧放电的电子发射电流从所述阴极靶传输到所述远程阳极的开口，所述电子发射电流沿着靶面长度尺寸流动。一次电源连接在所述阴极靶与所述主要阳极之间，而二次电源连接在所述阴极靶与所述远程阳极之间。典型地，线性远程阳极尺寸和蒸汽源短尺寸与一个尺寸平行，在所述尺寸中，电弧斑点被引导沿着所述阴极靶。
阴极靶阳极涂覆系统电子发射电流涂覆组件阴极腔室真空腔室蒸汽源护罩等离子体浸没衬底固持器低压电弧电弧斑点电弧放电电力方式二次电源离子处理气相沉积一次电源组件包括可选的耦合到靶面衬底界定涂覆平行开口隔离传输流动

[发明专利]一种涂布系统以及在该涂布系统中涂布基底的方法-CN201310421921.0有效
发明人： V·戈罗霍夫斯基;W·格兰特;E·W·泰勒;D·胡梅尼克;K·邦度姆 -专利权人：蒸汽技术公司
申请日： 2013-09-16 - 公布日： 2018-05-29 - 主分类号： C23C14/46 文献下载
摘要：本发明涉及一种涂布系统以及在该涂布系统中涂布基底的方法。该涂布系统包括真空腔室以及位于该真空腔室内的涂布组合件。该涂布组合件包括：蒸气源，该蒸气源将待涂布的材料提供到基底上；用于固持待涂布的基底的基底固持器，使得基底位于蒸气源的前方；阴极腔室组合件；以及远程阳极。该阴极腔室组合件包括阴极、可选的初级阳极以及屏蔽物，该屏蔽物将阴极与真空腔室隔离。该屏蔽物界定用于将电子发射电流从该极传输到真空腔室中的开口。该蒸气源位于阴极与远程阳极之间，而远程阳极耦合到阴极。该涂布系统还包括连接在阴极与初级阳极之间的初级电源以及连接在阴极腔室组合件与远程阳极之间的次级电源。
阳极涂布系统阴极基底组合件蒸气源阴极腔室真空腔室屏蔽物电子发射电流材料提供初级电源次级电源固持器可选的真空腔耦合到固持界定开口隔离室内传输

[发明专利]一种涂布系统-CN201610301098.3在审
发明人： V·戈罗霍夫斯基;D·胡梅尼克;S·特鲁伯;帕特里克·A·沙利文;尼古拉斯·皮特森;E·泰勒;G·沃兰 -专利权人：蒸汽技术公司
申请日： 2016-05-09 - 公布日： 2016-11-16 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本发明提供一种涂布系统，其包括真空室和涂布组件。所述涂布系统具有涂布组件，其包括气相源，基片保持器，其用于保持待涂布的基片从而使得所述基片被安置于所述气相源的前方，主阴极真空电弧组件，电耦合到所述阴极靶的远程阳极，所述阴极靶和主阳极之间的主电源，和连接在所述阴极靶和所述远程阳极之间的次电源。所述主阴极真空电弧组件包括阴极室组件，阴极靶，可选主阳极和屏蔽，该屏蔽把所述阴极靶与所述真空室隔离开。所述屏蔽定义用于把电子发射电流或金属气相等离子体从所述阴极靶传输到所述真空室的开口。所述气相源被安置在所述阴极室组件和所述远程阳极之间。
一种系统