专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于固定基底以对基底进行表面处理的夹持装置-CN202180070405.0在审
  • 安德烈亚斯·格莱斯纳;U·辛德勒 - 塞姆西斯科有限责任公司
  • 2021-10-12 - 2023-07-14 - H01L21/687
  • 本公开涉及一种用于固定基底以对基底进行表面处理的夹持装置,一种用于固持基底以对基底进行表面处理的夹持模块,以及一种组装用于固定基底以对基底进行表面处理的夹持装置的方法。所述用于固定基底以对基底进行表面处理的夹持装置包括:夹持支架和驱动单元。从横截面看,所述夹持支架包括:第一臂和第二臂。第一臂可相对于第二臂移动至基底的接收位置且第一臂与第二臂之间保持接收距离。第一臂可相对于第二臂移动至基底的固定位置且第一臂与第二臂之间保持固定距离。所述固定距离小于接收距离。所述驱动单元至少部分地被所述夹持支架包围。所述驱动单元至少有一部分可相对于夹持支架移动,以将第一臂移动至接收位置或固定位置。
  • 用于固定基底进行表面处理夹持装置

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