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[发明专利]带有可移动位置幅材引导件的沉积系统-CN201880018051.3有效
发明人： T.M.斯帕思;C.R.埃林格尔 -专利权人：伊斯曼柯达公司
申请日： 2018-02-28 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：一种薄膜沉积系统包括幅材引导件系统，幅材引导件系统具有多个幅材引导件，多个幅材引导件为基体的幅材限定了幅材传输路径。幅材引导件系统包括可移动部分，可移动部分包括第一可移动位置幅材引导件和第二可移动位置幅材引导件。幅材传输控制系统使基体的幅材沿着幅材传输路径在幅材前进速度下前进。沉积头沿着幅材传输路径位于第一可移动位置幅材引导件与第二可移动位置幅材引导件之间。运动致动器系统使第一可移动位置幅材引导件和第二可移动位置幅材引导件的位置同步地移动，使得它们根据限定的振荡运动模式向前和向后移，同时在第一可移动位置幅材引导件与第二可移动位置幅材引导件之间维持恒定的距离，从而导致与沉积头相邻的介质的幅材的部分在沿轨道方向上向前和向后移动。
带有移动位置引导沉积系统

[发明专利]模块化薄膜沉积系统-CN201880017991.0有效
发明人： T.M.斯帕思;C.R.埃林格尔;S.F.尼尔森;L.W.塔特 -专利权人：伊斯曼柯达公司
申请日： 2018-03-01 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：一种模块化薄膜沉积系统包括：机器基部、用于将材料的薄膜沉积到基体的工艺表面上的沉积头、包括固定部分和可移动部分的运动致动器、以及适合安装在运动致动器的可移动部分上的一个或多个可互换基体定位器模块。可互换基体定位器模块包括运动学安装特征，运动学安装特征与在运动致动器的可移动部分上的对应的运动学安装特征接合。运动致动器使可互换基体定位器在运动方向上移动，从而在将材料的薄膜沉积到基体的工艺表面上期间使基体在与沉积头的输出面相平行的平面中在沿轨道方向上移动。
模块化薄膜沉积系统

[发明专利]一种用于薄膜沉积系统的沉积单元-CN201880018055.1有效
发明人： T.M.斯帕思;L.W.塔特 -专利权人：伊斯曼柯达公司
申请日： 2018-02-28 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：一种用于薄膜沉积系统的沉积单元包括沉积头中的一个或多个以及气体歧管。各沉积头包括：具有多个气体开口的输出面、包括多个沉积头气体端口的安装面、以及连接的气体通道。气体歧管包括附接面，附接面具有一个或多个界面区域，各界面区域包括在与沉积头气体端口相对应的位置中的多个歧管气体端口。各沉积头在界面区域中以定位在歧管气体端口与沉积头气体端口之间的密封元件来紧固到气体歧管。各沉积头的安装面及气体歧管的附接面包括对准特征，对准特征用于使各沉积头与气体歧管的界面区域对准。
一种用于薄膜沉积系统单元

[发明专利]双重气体轴承基底定位系统-CN201880017990.6有效
发明人： T.M.斯帕思 -专利权人：伊斯曼柯达公司
申请日： 2018-02-28 - 公布日： 2021-07-27 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：双重气体轴承系统包括真空预压气体轴承、基底和气体轴承支撑器。将真空预压气体轴承以固定位置安装到机器底座。该基底具有面向真空预压气体轴承的输出面的第一表面和面向气体轴承支撑器的输出面的相对的第二表面。气体轴承在垂直于真空预压气体轴承的输出面的方向上可自由移动。通过真空预压气体轴承的输出面的气流将第一净力赋予基底的第一表面上，且通过气体轴承支撑器的气流将第二净力赋予基底的第二表面上，其中第二净力和气体轴承支撑器的输出面之间的间隙与基底的位置和厚度无关。
双重气体轴承基底定位系统

[发明专利]透明导电涂层的图形化-CN201480010388.1有效
发明人： D.马朱姆达;L.A.罗利;J.D.里贝罗;D.A.约翰逊;T.M.斯帕思 -专利权人：伊斯曼柯达公司
申请日： 2014-02-13 - 公布日： 2018-04-27 - 主分类号： H01L51/00 文献下载
摘要：图形化导电聚合物的方法包括提供涂布在第一支撑体上的导电聚合物层(13)，随后将含聚乙烯醇缩醛的层(22)从第二支撑体(21)图形状转移至导电聚合物(13)上以形成具有至少一个孔的掩模(25)。通过所述孔处理掩蔽的导电聚合物(13)，这改变在没有被掩模(25)覆盖的区域中的导电聚合物(13)的电导率至少一个数量级。
透明导电涂层图形