专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]MEMS电容性传感器-CN201580085473.9有效
  • G.罗卡;T.汉茨利克 - TDK株式会社
  • 2015-12-21 - 2021-03-12 - H04R3/00
  • MEMS电容性传感器(MCS)包括电容器(CMEMS),该电容器(CMEMS)包括背板(BP)和膜(M),其中该电容器(CMEMS)被布置在衬底(B)上。该电容性传感器(MCS)包括连接至该背板(BP)以提供输出信号(OS)的输出端(MOUT),连接至该膜(M)以施加偏压(Vbias)的偏压输入端(MBIAS),以及连接至衬底(B)以施加供应电压(VDD)的供应电压输入端(MVDD)。MEMS电容性传感器(MCS)可经由端(MOUT、MBIAS、MVDD)被耦合至用来提供偏压(Vbias)并且放大输出信号(OS)的信号处理电路。信号处理电路(SPC)和MEMS电容性传感器的接口连接在SNR性能和/或成本减少的方面提供优点。
  • mems电容传感器

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