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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]用于HAMR的VCSEL阵列-CN202110271041.4有效
发明人： B·斯特里普;T·松本;S·索查瓦 -专利权人：西部数据技术公司
申请日： 2021-03-11 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： G11B5/48 文献下载
摘要：本发明题为“用于HAMR的VCSEL阵列”。本公开涉及对用于磁介质驱动器的磁记录头进行预处理。对于热辅助磁记录(HAMR)头而言，光源提供驱动运行必要的热量。垂直腔表面发射激光器(VCSEL)安装到滑块的顶表面。从该VCSEL的底表面发射出多个激光束，并且该多个激光束被引导至HAMR头内对应数量的波导结构。该波导结构馈送到多模干涉(MMI)设备中，该多模干涉设备之后将该激光引导到单个波导中以聚焦在近场换能器(NFT)上。该VCSEL激光器是相位相干的并且不具有模式跳变。
用于 hamr vcsel 阵列

[发明专利]用于HAMR的VCSEL阵列-CN202211389854.4在审
发明人： B·斯特里普;T·松本;S·索查瓦 -专利权人：西部数据技术公司
申请日： 2021-03-11 - 公布日： 2023-01-20 - 主分类号： G11B5/48 文献下载
摘要：本发明题为“用于HAMR的VCSEL阵列”。本公开涉及对用于磁介质驱动器的磁记录头进行预处理。对于热辅助磁记录(HAMR)头而言，光源提供驱动运行必要的热量。垂直腔表面发射激光器(VCSEL)安装到滑块的顶表面。从该VCSEL的底表面发射出多个激光束，并且该多个激光束被引导至HAMR头内对应数量的波导结构。该波导结构馈送到多模干涉(MMI)设备中，该多模干涉设备之后将该激光引导到单个波导中以聚焦在近场换能器(NFT)上。该VCSEL激光器是相位相干的并且不具有模式跳变。
用于 hamr vcsel 阵列

[实用新型]基板处理系统-CN201520881915.8有效
发明人： S·安瓦尔;T·松本 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2015-11-06 - 公布日： 2016-08-03 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本文所述的实施例涉及基板处理系统。处理系统可以包括多个子系统或群集工具。所述处理系统的每个群集工具可以包括掩模腔室以及一个或多个处理腔室。所述掩模腔室可配置成对在所述处理腔室中的各种沉积工艺期间所利用的掩模加热。在一个实施例中，可在所述第一群集工具中，将第一层沉积在基板上；并且可在所述第二群集工具中，将第二层沉积在基板上。
处理系统

[发明专利]动态侦测移动基材损毁和偏位的传感器-CN200680051400.9有效
发明人： W·A·巴格利;P·李;K－T·金;S－K·金;T·基约塔克;S·金;T·松本;J·E·拉森;M·吉纳佳瓦;J·霍夫曼;B·C·梁 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2006-01-18 - 公布日： 2009-02-04 - 主分类号： G01N21/86 文献下载
摘要：本发明提供一种设备与方法，其利用至少二个传感器(140A、140B)以沿着移动基材的至少二平行边缘的长度而侦测此基材缺陷，例如损毁或偏位的存在。在一实施例中，该设备包含一种传感器设置，此传感器设置在基材的至少二平行边缘感测基材以侦测基材缺陷。在另一实施例中，该设备包含一种机械手臂(114或130)，其具有一基材支持表面；以及一传感器设置，此传感器设置在基材的至少二平行边缘感测基材以侦测基材缺陷。
动态侦测移动基材损毁传感器

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共 4 条

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