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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]集成式多工具光罩检验-CN202080077249.6有效
发明人： W·苏泽;S·G·沃森 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2020-11-17 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： G03F1/84 文献下载
摘要：本发明公开一种光罩检验系统，其可包含用于产生两组或更多组检验图像来特性化光罩的两个或更多个检验工具，其中所述两个或更多个检验工具包含提供所述光罩的检验图像的至少一个光罩检验工具。所述光罩检验系统可进一步包含控制器，其用于使来自所述两组或更多组检验图像的数据与所述光罩上的位置相关、使用所述相关数据作为多输入缺陷检测模型的输入来检测所述光罩上的一或多个关注缺陷及输出与所述关注缺陷相关联的缺陷数据。
集成工具检验

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共 1 条

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