专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]未抛光半导体晶片和用于制造未抛光半导体晶片的方法-CN200610141238.1有效
  • W·亨泽尔;R·莱纳;H·施文克 - 硅电子股份公司
  • 2006-09-29 - 2007-04-04 - H01L21/30
  • 本发明涉及一种用于制造未抛光半导体晶片的方法,包括以下步骤:a)拉制半导体材料的单晶,b)将半导体晶片研磨成圆形,c)从该晶体分离半导体晶片,d)磨圆该半导体晶片的边缘,e)表面研磨半导体晶片的至少一侧,f)用蚀刻剂处理半导体晶片,g)最终清洗半导体晶片。本发明还涉及一种未抛光半导体晶片,具有前侧和后侧,其中研磨至少前侧并蚀刻前和后侧,其具有至少在前侧上的95%或更高的反射度、至少在前侧上的3nm或更小的表面粗糙度、80-2500μm的厚度、5μm或更小的全部平整度值GBIR,这基于3mm的边缘裕度,具有0.8μm的光刻分辨率,并且还包括分别在前侧和后侧上的具有0.5-3nm厚度的自然氧化层。
  • 抛光半导体晶片用于制造方法

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