专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]具有灯室校正的等离子体源-CN201980057387.5在审
  • 张时雨;M·S·王;I·贝泽尔 - 科磊股份有限公司
  • 2019-07-29 - 2021-04-13 - H01J61/02
  • 本发明揭示一种具有灯室校正的等离子体光源。所述系统可包含经配置以产生泵浦照明的泵浦源。可通过椭圆反射器元件将所述泵浦照明引导到等离子体灯内所围封的气体体积以便产生等离子体。所述等离子体可经配置以产生宽带照明。所述系统还可包含经配置以变更所述泵浦照明以校正由所述等离子体灯引入的像差的校正板及/或非球面椭圆反射器元件。所述系统还可包含经配置以变更所述宽带照明以校正由所述系统的光学元件引入的像差的额外非球面校正板。
  • 具有校正等离子体
  • [发明专利]半导体检查中的多模式缺陷分类-CN201980044978.9在审
  • G·H·陈;A·布德尔;V·盖德;M·S·王 - 科磊股份有限公司
  • 2019-07-19 - 2021-02-12 - G01N21/95
  • 本发明揭示一种半导体检查工具,其使用多个光学模式扫描半导体裸片。基于所述扫描的结果识别所述半导体裸片上的多个缺陷。所述多个缺陷的相应缺陷对应于所述半导体检查工具的相应像素组。所述扫描无法解析所述相应缺陷。所述结果包括基于所述相应像素组的像素强度的多维数据,其中所述多维数据的每一维对应于所述多个光学模式的相异模式。将判别函数应用于所述结果以将所述相应像素组的所述多维数据变换为相应分数。至少部分基于所述相应分数,将所述相应缺陷划分到相异类别中。
  • 半导体检查中的模式缺陷分类
  • [外观设计]昆虫诱捕装置用插件-CN201730008342.2有效
  • M·S·王 - 宝洁公司
  • 2017-01-10 - 2017-08-08 - 22-06
  • 1.本外观设计产品的名称昆虫诱捕装置用插件。2.本外观设计产品的用途本外观设计产品用于昆虫诱捕装置。3.本外观设计产品的设计要点在于昆虫诱捕装置用插件的形状造型。4.最能表明本外观设计设计要点的图片或照片设计1立体图。5.指定基本设计设计1。
  • 昆虫诱捕装置插件
  • [发明专利]带锯齿的傅立叶滤波器及检查系统-CN200680029168.9有效
  • H·J·郑;A·V·希尔;M·S·王 - 恪纳腾技术公司
  • 2006-06-06 - 2008-08-06 - G01N21/00
  • 提供了带锯齿的傅立叶滤波器和检查系统。一种傅立叶滤波器包括一个或更多个被配置来阻挡来自晶片的部分光的阻挡单元。所述傅立叶滤波器还包括形成在所述一个或更多个阻挡单元的边缘的周期性锯齿。所述周期性锯齿限定所述一个或更多个阻挡单元的过渡区段。所述周期性锯齿被配置为使透射横跨所述过渡区段变化,以使得横跨所述过渡区段的所述透射的变化基本上是平滑的。一种检查系统包括如上面描述的那样配置的傅立叶滤波器和检测器,所述检测器被配置来检查所述傅立叶滤波器透射的光。所述检测器生成的信号可以被用来检测所述晶片上的所述缺陷。
  • 锯齿傅立叶滤波器检查系统

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