专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]电子器件-CN200480038318.3无效
  • M·K·克利;T·G·S·M·里克斯;P·洛克;R·G·莫措克 - 皇家飞利浦电子股份有限公司
  • 2004-12-20 - 2007-01-17 - H01L41/09
  • 微电机械系统(MEMS)元件(101)包括存在于衬底(30)的表面上的第一电极(31)和可移动元件(40),其至少部分地覆盖第一电极(31)并包括压电激励器,在第一和第二位置之间通过施加激励电压该可移动元件(40)可向着和从衬底(30)移动,在该第一位置中,它借助间隙与衬底(30)分开。这里压电激励器包括在相对表面上分别设有第二和第三电极(21、22)的压电层(25),所述第二电极(21)面向衬底(30),并且所述第三电极(22)形成MEMS元件(101)的输入电极,因此通过MEMS元件(101)之间的电流路径包括该压电层(25)和可调的间隙。
  • 电子器件

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