专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于投射曝光设备的照明光学单元的光瞳分面反射镜-CN202180052698.X在审
  • A·温克勒;M·恩德雷斯;M·帕特拉;M·拉莫拉;A·伊萨克;T·费希尔 - 卡尔蔡司SMT有限责任公司
  • 2021-08-20 - 2023-04-18 - G02B26/08
  • 光瞳分面反射镜为投射曝光设备的照明光学单元的构成部分,其除了光瞳分面反射镜之外,还包含具有多个可切换场分面(20)的场分面反射镜。照明通道(25)借助于场分面反射镜的一个相应场分面(21)和光瞳分面反射镜的一个相应光瞳分面(23)来指定。场分面(21)的图像(26)经由光瞳分面(23)以重叠方式成像到物场中。可倾斜的光瞳分面(23)与光瞳分面反射镜的倾斜致动器系统(27)相互作用。光瞳分面反射镜具有用于指定粗调倾斜角的粗调致动器系统操作模式(28)和用于指定可倾斜光瞳分面(23)的微调倾斜角的微调致动器系统操作模式(29),其可用于照明通道分配和用于指定可倾斜光瞳分面(23)的照明通道(25)的场分面图像(26)相对于物场的相对位置。这产生了光瞳分面反射镜,在照明光学单元中使用该光瞳分面反射镜可提高使用的灵活性,且特别是有助于观察投射曝光设备的精确照明参数指定。
  • 用于投射曝光设备照明光学单元光瞳分面反射

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