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[发明专利]重叠结构-CN201810454467.1有效
发明人：戴鑫托;朴东锡;宁国翔;M·卡拉科伊 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2018-05-14 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明涉及重叠结构。本公开通常涉及半导体结构，更特别地，涉及重叠结构和制造方法。该方法包括：将第一多个偏移虚设特征定位在第一层中；将第二多个偏移虚设特征定位在第二层中；测量所述第一多个偏移虚设特征与所述第二多个偏移虚设特征之间的距离；以及基于所述测量确定所述第一层或所述第二层相对于彼此移位。
重叠结构

[发明专利]特别用于激光加工机的操作头-CN200910179799.4有效
发明人： M·卡迪纳尔;M·卡拉科伊;C·塔兰蒂尼 -专利权人：普瑞玛工业股份有限公司
申请日： 2009-10-19 - 公布日： 2010-06-09 - 主分类号： B23K26/08 文献下载
摘要：一种特别用于激光加工机的操作头，以及包括可动结构和操作头的类型的冗余轴激光加工机的使用方法。所述可动结构由致动器控制并根据第一组变量(X、Y、Z、A)操作，所述操作头根据第二组变量(W、B、C)操作，所述第一组变量(X、Y、Z、A)和所述第二组变量(W、B、C)限定一个或多个冗余变量。这种方法设想了过滤装置，其允许工作轨迹分别被分解成用于第一低动态系统和第二高动态系统的确定轨迹，所述第一低动态系统由所述的第一组变量(X、Y、Z、A)组成，所述第二高动态系统由所述的第二组所述变量(W、B、C)组成。
特别用于激光加工操作