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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]具有电压可调谐中心频率和带宽的MEMS滤波器-CN200780023602.7有效
发明人： S·巴韦;L·F·谢欧 -专利权人：科内尔研究基金会
申请日： 2007-05-02 - 公布日： 2009-07-08 - 主分类号： H03B5/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种可调谐MEMS滤波器。该可调谐MEMS滤波器具有带有第一和第二绝缘衬底区域的衬底。第一和第二锚点耦合至所述衬底。基层通过第一和第二耦合波束分别耦合至所述第一和第二锚点。介电层耦合至所述基层。输入导体耦合至至少一个介电层。输出导体耦合至至少一个介电层。还公开了用于对MEMS调谐器滤波器的中心频率和带宽进行调谐的方法。调整基层与输入导体和输出导体之间的第一偏压。调整基层与绝缘衬底区域之间的第二偏压。确定中心频率和带宽，直到对偏压的调整提供所需的中心频率和所需的带宽。
具有电压调谐中心频率带宽 mems 滤波器

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