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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]具有带有真空调节阀的工艺室的真空加工系统-CN202210740906.1在审
发明人： S·纳夫;L·加赫特 -专利权人： VAT控股公司
申请日： 2022-06-28 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： F16K51/02 文献下载
摘要：本发明涉及具有带有真空调节阀的工艺室的真空加工系统。真空加工系统(1)包括真空室(10)和真空调节阀(20)。真空阀包括第一阀座(21a)，其具有限定第一开口轴线(O)的第一阀开口(22a)和围绕第一阀开口延伸的第一密封面，还包括第一阀板(23a)，其具有对应于第一密封面的第一接触面。该真空加工系统还包括驱动单元(30)，其如此设计和连接至第一阀板，即，第一阀板能至少从打开位置被运动到关闭位置和返回。第一阀座布置在真空室中并将真空室分为用于加工基片的主工艺室(11)与副工艺室(12)。第一密封面正交于第一开口轴线延伸并指向副工艺室。第一阀板(23a)活动布置在副工艺室中。
具有带有真空调节工艺加工系统

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