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[发明专利]目标定位装置-CN201610901826.4有效
发明人： J·J·M·佩斯特 -专利权人：迈普尔平版印刷IP有限公司
申请日： 2012-09-12 - 公布日： 2018-10-19 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种目标定位装置，其包括用于承载目标的载体，以及用于承载载体并沿着第一方向(X)移动该载体的支撑台。该支撑台包括两个X‑支撑台基座，二者皆布置在公共基板的顶部上，每一个X‑支撑台基座承载一X‑支撑台托架，以及一Y‑梁，所述Y‑梁包括用以承载所述载体并移动该载体在第二方向(Y)上的Y‑支撑台。所述Y‑梁跨接该X‑支撑台托架之间的空间并经由一柔性连接器而被连接到该X‑支撑台托架上。该装置还包括两个电机，每一个用以沿着相应的X‑支撑台基座驱动相应的X‑支撑台托架。该两个电机至少大致被设置在该支撑台下方。
目标定位装置

[发明专利]目标定位装置-CN201280051562.8有效
发明人： J·J·M·佩斯特 -专利权人：迈普尔平版印刷IP有限公司
申请日： 2012-09-12 - 公布日： 2016-11-16 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种目标定位装置，尤其用于光刻系统，其包括用于承载目标的载体(300)，以及用于承载载体并沿着第一方向(X)移动该载体的支撑台。该支撑台包括两个X‑支撑台基座(401、402)，二者皆布置在公共基板(403)的顶部上，每一个X‑支撑台基座承载一X‑支撑台托架(404、405)，以及一Y‑梁(406)，所述Y‑梁包括用以承载所述载体并在第二方向(Y)上移动该载体的Y‑支撑台(407)。所述Y‑梁跨接该X‑支撑台托架之间的空间并经由一柔性连接器(408、409)而被连接到该X‑支撑台托架上。该装置还包括两个电机(M1、M2)，每一个用以沿着相应的X‑支撑台基座驱动相应的X‑支撑台托架。该两个电机至少大致被设置在该支撑台下方。所述两个电机中的每一个被连接至一偏心凸轮或曲柄(410、411)，后者经由一曲柄轴(412、413)而被连接至该相对应的X‑支撑台托架。
目标定位装置

[发明专利]元件布置机以及一种用于传送印刷电路板的方法-CN200380108722.9无效
发明人： L·C·J·范哈德;A·J·J·范德霍斯特;J·A·M·范尔森;J·J·M·佩斯特;H·布罗克休泽恩;J·P·巴尔特曼 -专利权人：阿森姆布里昂股份有限公司
申请日： 2003-10-27 - 公布日： 2006-02-22 - 主分类号： H05K13/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种元件布置机(1)，它带有框架(2)和用于沿着X方向传送印刷电路板(5)的传送装置(3)，和一种用于传送印刷电路板(5)的方法，其中传送装置(3)包括至少一根沿着X方向延伸的传送梁(6)。所述传送梁(6)可以被沿着X方向往复驱动，其中传送装置(3)设有连接于传送梁(6)上的夹持装置(12，15，16)，用于夹持住待传送的印刷电路板(5)的一条沿着X方向延伸的横向边缘(21)。所述传送装置还设有连接于框架(2)上的支撑装置(18，20)，用于支撑起位于印刷电路板(5)两侧的两条横向边缘，所述夹持装置(18，20)可以进入有效夹持位置，以便使得该夹持装置(18，20)在传送梁(6)沿着+X方向运动的过程中起作用，并且可以在传送梁(6)沿着－X方向返回的过程中处于闲置位置，在夹持装置(18，20)的该闲置位置，印刷电路板(5)由支撑装置(18，20)支撑。
元件布置以及一种用于传送印刷电路板方法