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- [发明专利]用于酸敏感溶剂的膜及其用途-CN202111490962.6在审
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J·哈姆齐克;J·A·贾比尔
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恩特格里斯公司
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2021-12-08
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2022-06-14
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B01D69/02
- 本申请案涉及用于酸敏感溶剂的膜及其用途。本公开提供对实行移除流体组合物中的金属及金属离子污染物有用的某些强阳离子改性离子交换树脂及膜。具有显著减少量的金属的经过滤液体组合物、例如用于移除光致抗蚀剂的液体可用于微电子制造工艺中。本公开的阳离子改性离子交换树脂及膜可经配置用于微电子制造系统中,其可在所述系统中用作进入所述系统的液体的使用点金属移除特征。有利地,本公开的过滤材料及方法在以下方面表现出明显改进:其防止液体组合物中的酮(例如,环己酮)发生降解并形成发色体以及二聚及低聚材料,且同时不损害所述过滤材料移除非所要金属离子的能力。
- 用于敏感溶剂及其用途
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