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[发明专利]干涉式调制的方法和支柱结构-CN200510103443.4无效
发明人：董明孝;斯里尼瓦斯·塞瑟拉曼 -专利权人： IDC公司
申请日： 2005-09-15 - 公布日： 2006-04-05 - 主分类号： G02F1/21 文献下载
摘要：一种干涉式调制器包括一包含一光学元件的支柱结构。在一优选实施例中，在所述支柱结构中的光学元件为一反射元件，例如，镜面。在另一实施例中，所述支柱结构中的光学元件为一标准具，例如，一暗色标准具。所述支柱结构中的光学元件可减少原本将由所述支柱结构回射的光的数量。在各实施例中，所述支柱结构中的光学元件通过将光重新引导入所述干涉腔内来增加所述干涉式调制器的亮度。例如，在一些实施例中，所述支柱结构中的光学元件增加了干涉式调制器的背光照明。
干涉调制方法支柱结构

[发明专利]干涉式调制器及其制作方法-CN200510102598.6无效
发明人：克拉伦斯·徐;马尼什·科塔里;布莱恩·詹姆斯·加利;董明孝 -专利权人： IDC公司
申请日： 2005-09-12 - 公布日： 2006-04-05 - 主分类号： G02B26/00 文献下载
摘要：通过在一牺牲层与一镜层之间使用一蚀刻终止层来改良例如干涉式调制器等MEMS装置的制作。所述蚀刻终止层可减轻对牺牲层及镜层的不良过蚀刻。所述蚀刻终止层还可用作一障蔽层、缓冲层及/或模板层。
干涉调制器及其制作方法

[发明专利]制造MEMS系统的预结构的方法-CN200510105056.4无效
发明人：杰弗里·B·桑普塞尔 -专利权人： IDC公司
申请日： 2005-09-26 - 公布日： 2006-04-05 - 主分类号： G02F1/21 文献下载
摘要：一种制造一干涉式调制器元件的方法包括在一衬底上形成至少两个支柱，例如由旋涂玻璃形成的支柱。在替代实施例中，可在衬底上已沉积调制器元件的某些层之后形成支柱。一干涉式调制器元件包括至少两个位于衬底上的旋涂玻璃支柱。在替代实施例中，支柱可位于调制器元件的某些层上而不是位于衬底上。一种制造一干涉式调制器元件的方法包括在一支柱上形成一刚性帽。一干涉式调制器元件包括具有刚性帽部件的支柱。
制造 mems 系统结构方法

[发明专利]提供具有抗粘着涂层的MEMS装置的系统和方法-CN200510103555.X无效
发明人：洛朗·帕尔玛蒂尔;威廉·J·卡明斯;布莱恩·J·加利 -专利权人： IDC公司
申请日： 2005-09-21 - 公布日： 2006-04-05 - 主分类号： G02F1/01 文献下载
摘要：在本发明的各种实施例中，在一MEMS装置80的一内部空腔的至少一个表面上形成抗粘着涂层102、106。一些具体实施例在一干涉式光调制装置(iMoD)的一或多个镜面上提供抗粘着涂层102、106。在另一些实施例中，将一干涉式光调制装置封闭于一封装内，且在制成所述封装后涂施抗粘着涂层102、106。在一实施例中，在所述封装中(例如，在一密封件、衬底或背板中)界定一或多个孔，并通过所述孔将抗粘着涂层材料提供于所述封装内部。在一实施例中，抗粘着涂层材料包括一自对准(或自组装)单层。在又一实施例中，可将抗粘着层的涂布纳入一其中使用一气体蚀刻掉一干涉式光调制装置的一牺牲层的释放工艺。
提供具有粘着涂层 mems 装置系统方法

[发明专利]用于使用干涉式元件对光进行检测的方法及系统-CN200510103440.0无效
发明人：马尼什·科塔里 -专利权人： IDC公司
申请日： 2005-09-15 - 公布日： 2006-04-05 - 主分类号： G02F1/21 文献下载
摘要：本发明的某些实施例提供一种光传感器，其包含至少一个吸收至少一种波长的光的干涉式元件。所述干涉式元件包含一第一表面及一与所述第一表面基本上平行的第二表面。第二表面在一基本上垂直于第一表面的方向上与第一表面间隔一间距。所吸收的光的波长取决于所述间距。所述干涉式元件进一步包含一温度传感器。所述温度传感器可响应于所述干涉式元件的至少一部分因所述干涉式元件吸收光而引起的温度变化。
用于使用干涉元件对光进行检测方法系统

[发明专利]光子微机电系统和结构-CN200510105061.5无效
发明人：克拉伦斯·徐 -专利权人： IDC公司
申请日： 2005-09-26 - 公布日： 2006-04-05 - 主分类号： G02F1/21 文献下载
摘要：一种光学装置包括一不透明的衬底。所述光学装置进一步包括一第一光学层，其至少部分地透射且至少部分地反射入射光。所述光学装置进一步包括一第二光学层，其至少部分地反射入射光。所述第二光学层与所述第一光学层间隔开。所述第一光学层与所述第二光学层中的至少一者可在一在所述第一光学层与所述第二光学层之间具有一第一距离的第一位置与一在所述第一光学层与所述第二光学层之间具有一第二距离的第二位置之间移动。所述第一光学层与所述第二光学层中的至少一者在所述第一位置与所述第二位置之间的移动调制所述装置的反射率。
光子微机系统结构

[发明专利]用于封装一衬底的方法及装置-CN200510102599.0无效
发明人：洛朗·帕尔玛蒂尔;威廉·J·卡明斯;布莱恩·J·加利;马克·W·迈尔斯;杰弗里·B·桑普塞尔;克拉伦斯·徐;马尼什·科塔里 -专利权人： IDC公司
申请日： 2005-09-12 - 公布日： 2006-04-05 - 主分类号： G02F1/01 文献下载
摘要：本发明揭示一种用于一干涉式调制器的封装结构及封装方法。在一干涉式调制器及透明衬底上沉积一薄膜材料来囊封所述干涉式调制器。该干涉式调制器与该薄膜之间的一间隙或空腔提供一使得该干涉式调制器的机械部件可在其中移动的空间。该间隙是通过移除一沉积于该干涉式调制器上的牺牲层来形成。
用于封装衬底方法装置

[发明专利]用于隅角干涉调制的方法和装置-CN200510105062.X无效
发明人：威廉·J·卡明斯 -专利权人： IDC公司
申请日： 2005-09-26 - 公布日： 2006-04-05 - 主分类号： G02F1/21 文献下载
摘要：本发明描述了一种显示器，其中所述显示器包括彼此成非零角度排列的表面。至少一个所述表面可包括一干涉式调制器。可通过使用彼此以一角度排列的两个或三个表面来提供对色移的补偿，所述表面具有类似的干涉式调制器。还描述了制造此一显示器的若干方法。可通过使用彼此垂直排列的三个表面来提供更加明亮的显示器，其中每个所述表面具有一个反射不同颜色光的干涉式调制器。加色法或减色法可被用于产生特定颜色的光。
用于干涉调制方法装置

[发明专利]操控调制器中热响应的装置和方法-CN200510105036.7无效
发明人：克拉伦斯·徐;马克·米格纳德 -专利权人： IDC公司
申请日： 2005-09-26 - 公布日： 2006-04-05 - 主分类号： G02F1/21 文献下载
摘要：通过改变在两个表面之间的间距使其中的一个表面被安置在另一个表面前面，一种干涉式调制器在两个表面反射出的光波之间选择性地产生相长和/或相消干涉。可通过使一个或两个所述表面变形来实现所期望的间距。与一个特定表面相联系的加热元件通过加热形成一个或两个所述表面的材料来引起变形。通过改变所施加的热量来改变变形量，因此可控制在所述表面之间的距离且从而按照需要产生相长和/或相消干涉。
操控调制器响应装置方法

[发明专利]用于以提高的效率进行二氟化氙蚀刻的方法及系统-CN200510103447.2无效
发明人：菲利浦·D·弗洛伊德;威廉·J·卡明斯 -专利权人： IDC公司
申请日： 2005-09-15 - 公布日： 2006-04-05 - 主分类号： G02F1/21 文献下载
摘要：本发明提供一种适用于制造MEMS装置的设备及方法。所揭示设备的一个方面提供一种衬底，所述衬底包含一暴露至一固态蚀刻剂的可蚀刻材料，其中所述衬底及所述固态蚀刻剂设置于一蚀刻室中。在某些实施例中，所述固态蚀刻剂移动至紧靠所述衬底的位置。在其他实施例中，在所述衬底与所述固态蚀刻剂之间开有一可配置的间隔件。所述固态蚀刻剂形成一适用于蚀刻所述可蚀刻材料的气相蚀刻剂。在某些较佳实施例中，所述固态蚀刻剂是固体二氟化氙。所述设备及方法可在制作光学调制器时有利地用于实施一释放蚀刻。
用于提高效率进行氟化蚀刻方法系统

[发明专利]用于减少可觉察色移的设备和方法-CN200510105051.1无效
发明人：布莱恩·J·加利;马尼什·科塔里 -专利权人： IDC公司
申请日： 2005-09-26 - 公布日： 2006-04-05 - 主分类号： G02F1/21 文献下载
摘要：本发明揭示一种用于降低作为视角的函数的可觉察色移的设备及方法。一实施例是一显示装置，其包括一彩色光调制器和一滤色器。所述滤色器经构造以滤除当由所述调制器以一离轴视角反射时可被觉察为色移光的各种波长的光。另一实施例包括一彩色光调制器和一彩色光源，所述彩色光源构造为可提供具有一光谱含量的光，所述光谱含量不含当以一离轴视角观察显示器时可被觉察为色移光的波长。又一实施例是制造此等显示装置的方法。
用于减少觉察设备方法

[发明专利]操纵显示器中颜色的方法和装置-CN200510105830.1无效
发明人：布莱恩·J·加利;威廉·J·卡明斯 -专利权人： IDC公司
申请日： 2005-09-23 - 公布日： 2006-04-05 - 主分类号： G02F1/21 文献下载
摘要：本发明揭示了一种用于操纵一显示器中颜色的方法和装置。在一实施例中，一显示器包含形成为具有产生白光的光谱响应的干涉式显示元件。在一实施例中，产生的所述白光以一个标准化白点为特征。
操纵显示器颜色方法装置

[发明专利]用于具有加强物质的显示装置的系统和方法-CN200510105041.8无效
发明人：洛朗·帕尔玛蒂尔 -专利权人： IDC公司
申请日： 2005-09-26 - 公布日： 2006-04-05 - 主分类号： G02F1/21 文献下载
摘要：本发明揭示一种干涉式调制器的封装结构和封装方法，其中使用一加强物质以有助于支撑所述封装的整体性。在一些实施例中，所述加强物质是一种与背板或透明衬底形成一体的干燥剂。
用于具有加强物质显示装置系统方法

[发明专利]用于具有活化干燥剂的显示装置的系统及方法-CN200510105044.1无效
发明人：洛朗·帕尔玛蒂尔;威廉·J·卡明斯;布莱恩·J·加利;杰弗里·B·桑普塞尔 -专利权人： IDC公司
申请日： 2005-09-26 - 公布日： 2006-04-05 - 主分类号： G02F1/21 文献下载
摘要：本发明揭示一种MEMS装置封装70，其包括一上面形成有一MEMS装置76的衬底72、一背板74、一密封件78及一位于所述封装内的无活性的干燥剂80。所述干燥剂80在所述封装组装完后通过受到环境变化或一活化物质的作用而得到活化。一种制造一MEMS装置的方法包括将一干燥剂活化并接触一上面形成有MEMS装置的衬底、一密封件及一背板，其中所述干燥剂置于所述衬底或背板上。
用于具有活化干燥剂显示装置系统方法

[发明专利]用于操纵一显示器中的颜色的方法及装置-CN200510105840.5无效
发明人：布莱恩·J·加利;威廉·J·卡明斯 -专利权人： IDC公司
申请日： 2005-09-23 - 公布日： 2006-04-05 - 主分类号： G02F1/21 文献下载
摘要：本发明揭示一种用于操纵显示器中的颜色的方法及装置。在一实施例中，一显示器包括干涉式显示元件，所述干涉式显示元件形成为具有可产生白色光的光谱响应。在一实施例中，所产生的白色光由标准化白点来表征。
用于操纵显示器中的颜色方法装置