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[发明专利]具有输送锁定件的光学配置，尤其是光刻系统-CN201780087378.1有效
发明人： R.兹韦林;S.弗里茨谢;H.瓦格纳;F.阿勒斯;J.普罗希瑙;M.埃拉思;V.库利茨基;M.内夫齐 -专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司
申请日： 2017-12-20 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明关于光学配置，例如光刻系统，其包含：第一部件(19)，特别是承载框；第二部件(13)，其可相对第一部件(19)移动，特别是反射镜；以及至少一个止挡件(20)，其具有至少一个止挡面(20a、20b)用于限制第二部件(13)相对第一部件(19)的移动。在本发明一个方面中，光学配置(较佳为止挡件(20))具有用于固定第二部件(13)的固定装置(23)，其至少包含可相对止挡件(20)的止挡面(21a、21b)移动的固定元件(24)。本发明的其他方面同样关于具有固定装置或具有输送锁定件的光学配置。
具有输送锁定光学配置尤其是光刻系统

[发明专利]包括可见接缝和照明设备的布置、其用途及用于生产该布置的方法-CN201710676053.9有效
发明人： U.坎施泰纳;H.瓦格纳;F.布洛克豪斯;C.里特米勒;J.施密特;B.波尔 -专利权人：恩坦华产品欧洲有限公司
申请日： 2017-08-09 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： B60Q3/54 文献下载
摘要：本发明涉及包括可见接缝和照明设备的布置、其用途及用于生产该布置的方法。本发明涉及一种包括可见接缝（12）的布置，所述可见接缝布置在片材部件中。该布置还包括照明设备（13），其布置在片材部件的下侧的下方。可见接缝具有上部线（17）和下部线（18）。下部线在方向（R）上沿片材部件的下侧延伸。上部线具有沿片材部件的上侧的第一线部分，且经由第二线部分在于缝制过程期间形成的缝合孔洞处被引导穿过所述缝合孔洞。借助于照明设备，发射的光传递到第二线部分中、到缝合孔洞中，并由那里到第一线部分中。一些光从相邻的第二线部分开始沿第一线部分传播，而另一部分光从第一线部分离开。以这种方式，得以照亮可见接缝的上部线。
包括可见接缝照明设备布置用途用于生产方法

[发明专利]反射折射投射镜头和制造其的方法-CN201780084347.0有效
发明人： M.罗克塔舍尔;M.格鲁普;H.瓦格纳 -专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司
申请日： 2017-12-01 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种反射折射的投射镜头(PO)，用于使用具有工作波长λ＜260nm的电磁辐射将在投射镜头的物平面(OS)的有效物场(OF)中布置的掩模图案成像到在投射镜头的像平面(IS)上布置的有效像场中。投射镜头包括多个透镜和包含至少一个凹面反射镜(CM)的多个反射镜，并且透镜和反射镜限定了投射束路径，其从物平面(OS)延伸到像平面(IS)并且包含至少一个光瞳平面(P2)。反射镜包括具有第一反射镜表面(MS1)的第一反射镜(FM1)和具有第二反射镜表面(MS2)的第二反射镜(FM2)，该第一反射镜布置在物平面和在与物平面光学共轭的第一场平面的光学附近的光瞳平面(P2)之间的投射束路径中，并且该第二反射镜布置在光瞳平面(P2)和在与第一场平面光学共轭的第二场平面的光学附近的像平面之间的投射束路径中。该第一反射镜表面(MS1)和/或第二反射镜表面(MS2)设计为自由形式表面。
反射折射投射镜头制造方法

[发明专利]波束形成光学系统、和直接成像系统-CN201611093983.3有效
发明人： S.海涅曼;W.雷彻克;H.瓦格纳;J.伯格夫;A.格罗斯 -专利权人：奥宝科技有限公司;雷射影像系统有限责任公司
申请日： 2012-08-16 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： G02F1/11 文献下载
摘要：一种直接成像系统包括：照明单元，包括多个光源，所述多个光源被配置为发射多个波束；光学系统，用于形成要以位置或角度对准的多个波束；声光调制器，被定位为接收以位置或角度之一对准的多个波束，并且当声波在声方向中传播时，相继地对所述多个波束的不同部分进行衍射；以及扫描元件，适于以扫描速度、利用该声光调制器所调制的多个波束来扫描曝光表面，其中将该扫描速度选择为将所述多个波束的不同部分不相干地联合为单一曝光焦斑。
波束形成光学系统直接成像系统

[发明专利]用于控制静液压的驱动装置的方法-CN201510850699.5有效
发明人： H.瓦格纳 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2015-11-30 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： B60K6/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于控制静液压的驱动装置的方法，所述静液压的驱动装置具有：发动机；与所述发动机耦接的液压泵；以及通过液压的工作回路与所述液压泵耦接的液压马达，其中，在预控制的过程中从调节参量中的至少一个调节参量的预先给定的额定值中获知并设定所述静液压的驱动装置的多个执行参量中的至少一个执行参量，其中所述调节参量包括：所述液压的工作回路中的压力、所述液压泵的转速以及静液压的驱动装置的输出参量，并且其中其余的调节参量和/或执行参量被自动地追踪。
用于控制液压驱动装置方法

[发明专利]具有用于控制设备功能的控制系统的设备-CN201210066401.8有效
发明人： A.拉尔;H.瓦格纳;M.图尔克 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2012-03-14 - 公布日： 2017-08-29 - 主分类号： F02D25/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种设备（100），特别是一种具有至少两个液压回路（200、300）和至少两个发动机（410、420）的静液压设备（100），具有一个用于控制设备功能的控制系统，所述控制系统恰好具有两个控制器（510、520），其中，将控制器（510、520）中的每个控制器设置成当另一控制器有故障时控制设备功能，其中，控制器（510、520）中的每个控制器设置成在有故障时自己切断。
具有用于控制设备功能控制系统

[发明专利]EUV投射曝光设备的反射镜布置及其操作方法，及EUV投射曝光设备-CN201380039384.1有效
发明人： B.比特纳;N.韦伯拉;S.施奈德;R.施奈德;H.瓦格纳;R.伊利夫;W.保尔斯 -专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司
申请日： 2013-07-16 - 公布日： 2017-08-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种微光刻的EUV投射曝光设备的反射镜布置，包含多个反射镜，所述多个反射镜各具有在EUV光谱范围中为反射的层(32)及具有主体(34)，可对所述层施加EUV辐射。在此情况下，该多个反射镜的至少一个反射镜(32)具有包含具有负热膨胀系数的材料的至少一个层(36)。此外，还描述了一种操作反射镜布置及投射曝光设备的方法。布置至少一个热源，以便以有目标的方式局部施加热至该至少一个反射镜的具有负热膨胀系数的该至少一个层。
euv 投射曝光设备反射布置及其操作方法

[发明专利]EUV微光刻的投射镜头、膜元件及制造包含膜元件的投射镜头的方法-CN201380008896.1有效
发明人： B.比特纳;N.瓦布拉;S.施耐德;R.施耐德;H.瓦格纳;C.沃尔德;R.伊利尤;T.希克坦兹;T.格鲁纳;W.保罗斯;H.施密特 -专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司
申请日： 2013-02-08 - 公布日： 2017-07-28 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种投射镜头(PO)，该投射镜头利用具有来自极紫外范围(EUV)的工作波长λ的电磁辐射，将布置在该投射镜头的物平面(OS)中的图案成像于该投射镜头的像平面(IS)中，该投射镜头包含多个反射镜(M1‑M6)，该多个反射镜具有反射镜表面，该反射镜表面布置在该物平面及该像平面之间的投射光束路径中，使得可利用该反射镜将布置在该物平面中的图案成像于该像平面中。分配的波前校正装置(WFC)包含膜元件(FE)，该膜元件具有一膜，该膜在波前校正装置的操作模式中布置在投射光束路径中且在工作波长λ透射照在光学使用区中的EUV辐射的主要部分。该膜元件包含第一层，其由具有第一复数折射率n1＝(1‑δ1)+iβ1的第一层材料构成且具有在使用区上根据第一层厚度分布局部改变的第一光学层厚度；以及第二层，其由具有第二复数折射率n2＝(1‑δ2)+iβ2的第二层材料构成且具有在使用区上根据第二层厚度分布局部改变的第二光学层厚度，其中该第一层厚度分布与该第二层厚度分布不同。第一折射率的实部与1的偏差δ1相对于第一层材料的吸收系数β1较大，第二折射率的实部与1的偏差δ2相对于第二层材料的吸收系数β2较小。
euv 微光投射镜头元件制造包含方法

[发明专利]用于直接成像的系统和方法-CN201210292389.2有效
发明人： S.海涅曼;W.雷彻克;H.瓦格纳;J.伯格夫;A.格罗斯 -专利权人：奥博泰克有限公司;激光影像系统两合公司
申请日： 2012-08-16 - 公布日： 2013-03-06 - 主分类号： G02B26/12 文献下载
摘要：一种直接成像系统包括：照明单元，包括多个光源，所述多个光源被配置为发射多个波束；光学系统，用于形成要以位置或角度对准的多个波束；声光调制器，被定位为接收以位置或角度之一对准的多个波束，并且当声波在声方向中传播时，相继地对所述多个波束的不同部分进行衍射；以及扫描元件，适于以扫描速度、利用该声光调制器所调制的多个波束来扫描曝光表面，其中将该扫描速度选择为将所述多个波束的不同部分不相干地联合为单一曝光焦斑。
用于直接成像系统方法

[发明专利]三环吡啶衍生物、包含此化合物的药物、其用途及其制备方法-CN201180019887.3无效
发明人： H.瓦格纳;D.博塔;K.福克斯;R.乔万尼尼;D.W.哈姆普雷克特;I.科内兹基;R.斯特雷克;T.特里塞尔曼 -专利权人：贝林格尔.英格海姆国际有限公司
申请日： 2011-02-17 - 公布日： 2013-01-09 - 主分类号： C07D491/04 文献下载
摘要：本发明涉及由式(I)定义的化合物，其中变量R¹-R⁸如说明书中所定义，这些化合物具有有价值的药理学活性。具体地，这些化合物为胆固醇酯转移蛋白(CETP)的抑制剂，因此适于治疗及预防可通过抑制此酶而影响的疾病。
吡啶衍生物包含化合物药物用途及其制备方法

[发明专利]汇流条适配器-CN201210210553.0有效
发明人： H.瓦格纳 -专利权人：利塔尔两合公司
申请日： 2012-06-20 - 公布日： 2012-12-26 - 主分类号： H02B1/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种汇流条适配器，该汇流条适配器带有至少一个钩部分（1），所述钩部分（1）构造为在后方接合汇流条且限定了自由空间（2），所述自由空间在一个空间方向上具有汇流条的尺寸，其特征在于，钩部分（1）包括具有第一支撑面（4）和第二支撑面（5）的脚部分（3），其中脚部分（3）根据选择定向为使得在所述空间方向上由第一支撑面（4）或第二支撑面（5）限定自由空间（2）。
汇流适配器

[发明专利]具有减小的内阻的电化学元件-CN201080037841.X有效
发明人： H.J.林德纳;C.C.菲舍尔;H.瓦格纳 -专利权人：瓦尔达微电池有限责任公司
申请日： 2010-07-12 - 公布日： 2012-07-25 - 主分类号： H01M4/06 文献下载
摘要：描述了一种电化学元件，该电化学元件具有外壳、靠近该外壳的内表面并且限定空腔的第一电极、布置在该空腔内部的相反极性的第二电极以及布置在第一与第二电极之间的隔离物。第一电极因此包括经由第一接触表面以二维方式彼此邻近且经由另外的接触表面靠近外壳的内表面的至少两个单独区段。在第一接触表面之间，布置有至少一个连接器，所述至少一个连接器导电地连接所述区段。
具有减小内阻电化学元件

[发明专利]原电池和具有改善的安全属性的隔离件-CN201080042973.1无效
发明人： K.霍尔;M.庞佩茨基;M.科尔贝格;A.约亚斯;K.阿卡;H.瓦格纳;P.豪格;A.珀纳 -专利权人：瓦尔达微电池有限责任公司;大众汽车瓦尔塔微电池研究有限责任两合公司
申请日： 2010-07-26 - 公布日： 2012-06-13 - 主分类号： H01M2/16 文献下载
摘要：给出了一种具有正电极、负电极以及位于其间的隔离件的原电池的描述，其中隔离件至少部分地由熔化和/或软化温度>200℃的聚合物组成。还描述了一种用于原电池、尤其用于锂离子电池组的多层隔离件，该隔离件包含至少一层熔化和/或软化温度>200℃的聚合物。
原电池具有改善安全属性隔离

[发明专利]钮扣电池及其制造方法-CN201080020384.3无效
发明人： R.希梅勒;C.格洛克瓦格纳;H.瓦格纳 -专利权人：瓦尔达微电池有限责任公司
申请日： 2010-03-16 - 公布日： 2012-04-25 - 主分类号： H01M2/02 文献下载
摘要：本申请披露了具有用于保持电极和分隔件的由多个部分组成的外壳的钮扣电池，其中在所述外壳与所述电极中的至少一个特别是阳极之间存在互锁连接。此外，本申请还披露了适于制造这样的钮扣电池的方法，其中电极材料被引入外壳半部（1）中，其内端面包括设有底切部（3）的至少一个凹进部（2），以便在所得到的电极与所述外壳半部（1）之间形成互锁连接。
钮扣电池及其制造方法

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