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[发明专利]微机械振动系统-CN202210005227.X在审
发明人： H·格鲁特杰克;F·沙茨;J·巴德尔;J·米哈列维奇;T·沙里 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2022-01-05 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种微机械振动系统(6a)，该微机械振动系统包括带有至少一个微镜(4)的微机械振动体。该微机械振动系统(6a)附加地包括具有线圈体(30a、30b)和至少一个磁铁(50a、50b)的电磁驱动单元。所述线圈体(30a、30b)相对于所述微镜(4)基本上在侧面延伸。所述至少一个磁铁(50a、50b)在所述线圈体(30a、30b)下方延伸。本发明还涉及一种所述微机械振动系统(6a)的微投影设备(220)。
微机振动系统

[发明专利]微机械构件和用于微机械构件的制造方法-CN201811365018.6有效
发明人： D·迈尔;J·穆霍;C·克普尔尼克;H·格鲁特杰克;R·施特劳布;S·马克;T·巴尔斯林科 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2018-11-16 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种微机械构件，其具有保持装置(12)、带有反射表面的微镜(10)和至少一个弹簧(14a，14b)，其中，所述微镜(10)至少通过所述至少一个弹簧(14a，14b)这样与所述保持装置(12)连接，使得所述微镜(10)相对于所述保持装置(12)能围绕至少一个旋转轴线(16)调整，其中，所述反射表面至少部分地构造在所述微镜(10)的张紧的膜片(18)的第一膜片表面(18a)上，并且所述微镜具有指向离开所述第一膜片表面(18a)方向的、在空气或真空中张紧的第二膜片表面(18b)。此外，本发明涉及一种微机械构件的制造方法。
微机构件用于制造方法

[发明专利]用于传感器的微加热设备以及传感器-CN201610090396.2有效
发明人： H·格鲁特杰克;H·韦伯;R·菲克斯;I·西蒙;T·S·弗赖;R·M·哲尔菲 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2016-02-18 - 公布日： 2020-09-22 - 主分类号： G01N27/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于传感器的微加热设备，所述微加热设备具有：衬底；膜片，其中，所述膜片的覆盖区域至少部分跨越由所述衬底至少部分包围的空腔并且所述膜片的至少一个边缘区域直接或间接地固定在所述衬底的表面上；至少一个布置在所述膜片上和/或中的加热线路，所述至少一个加热线路至少具有各至少一个布置在所述覆盖区域上和/或中的散热区段、各一个布置在所述覆盖区域上和/或中的第一输送线路区段和各一个布置在所述覆盖区域上和/或中的第二输送线路区段；其中，所述第一输送线路区段的第一宽度从由所述第一输送线路区段接触的散热区段出发直至由所述第一输送线路区段接触的边缘区域地增大。本发明同样涉及一种传感器。
用于传感器加热设备以及

[发明专利]微镜及用于至少一个可设置或设置在微镜装置中的微镜的制造方法-CN201410708648.4有效
发明人： S·安布鲁斯特;H·格鲁特杰克;J·穆霍;F·N·恩吉蒙齐;J·巴德尔;S·平特;R·施特劳布;Z·莱什詹 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2014-11-28 - 公布日： 2019-06-28 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于微镜装置的微镜(10)，所述微镜具有镜侧(12)和远离所述镜侧(12)定向的背侧(14)，其中所述背侧(14)的至少一个中央区域具有至少一个与所述镜侧(12)平面平行的面(18a，18b)，其中如此成型所述背侧(14)，使得所述背侧(14)的每一个侧区域在所述中央区域的相对置的两侧上与所述背侧(14)的中央区域连接，所述每一个侧区域分别具有至少一个拱形的和/或相对于所述镜侧(12)倾斜定向的侧面(20)，其中从所述中央区域出发所述微镜(10)的高度沿着所述微镜(10)的延伸穿过所述中央区域和两个侧区域的横截面连续减小。本发明同样涉及一种微镜装置。此外，本发明涉及一种用于至少一个可设置或设置在微镜装置中的微镜的制造方法以及一种用于微镜装置的制造方法。
用于至少一个设置装置中的制造方法

[发明专利]微机械结构元件和用于微机械结构元件的相应检查方法-CN201410426178.2有效
发明人： S·赖斯;S·安布鲁斯特;H·格鲁特杰克;J·穆霍;F·N·恩吉蒙齐;J·巴德尔;R·施特劳布;W·海因策尔曼 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2014-08-26 - 公布日： 2019-05-07 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种微机械结构元件和一种用于微机械结构元件的相应检查方法。微机械结构元件包括：至少一个第一区域(1)，所述至少一个第一区域通过一弹簧装置(2a)与一第二区域(100)弹性连接；一布置在所述弹簧装置(2a)中和/或上的电阻装置(R；R1；R″；R″'；R1、R2、R0)，所述电阻装置能够在所述弹簧装置(2a、2b；2a'、2a″、2b'、2b″；22‑25)损坏时至少部分被中断；一检测装置(50；50')，所述检测装置与所述电阻装置(R)电连接，用于检测所述电阻装置(R；R1；R″；R″'；R1、R2、R0)的中断和用于产生相应的检测信号(S)。
微机结构元件用于相应检查方法

[发明专利]具有密封的覆镀通孔的微机械部件和用于制造具有密封的覆镀通孔的微机械部件的方法-CN201510079599.7有效
发明人： J·弗兰茨;S·安布鲁斯特;H·格鲁特杰克;J·穆霍;F·N·恩吉蒙齐;A·迪尔;J·巴德尔;S·利宾;R·施特劳布 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2015-02-13 - 公布日： 2018-08-14 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明提出一种微机械部件和一种用于制造微机械部件的方法。所述微机械部件包括：密封封闭的壳体(10)；第一功能构件(12)，所述第一功能构件布置在所述壳体(10)内；经结构化的第一导电层(14)，所述经结构化的第一导电层接通所述第一功能构件(12)并且所述经结构化的第一导电层布置在所述壳体(10)内；和经结构化的第二导电层(24)，其中，所述第一导电层(14)通过所述第二导电层(24)电接通，并且，其中，所述第二导电层(24)可通过在所述第二导电层(24)中的横向穿过所述壳体的密封的覆镀通孔(18‑i，26‑i)电接通。
具有密封覆镀通孔微机部件用于制造方法

[发明专利]微机械构件和用于制造微机械构件的方法-CN201410424715.X有效
发明人： S·安布鲁斯特;H·格鲁特杰克;F·沙茨;J·穆霍;F·N·恩吉蒙齐;J·巴德尔;K·德塞尔;R·施特劳布 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2014-08-26 - 公布日： 2018-06-05 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种微机械构件和一种用于制造微机械构件的方法。该构件具有：一框架(40)；一板簧(20)，其与所述框架(40)连接，并且板簧具有前侧面(F20)和背侧面(B20)，背侧面与前侧面(F20)背离；一反射镜元件(10)，其布置在板簧(20)的前侧面(F20)上并且与所述板簧(20)的前侧面(F20)以如下方式连接，即，反射镜元件(10)能调节地悬挂在框架(40)上；和至少一个压电条(30、31)，至少一个压电条与板簧(20)的背侧面(B20)连接；其中，通过施加电压到至少一个压电条(30、31)上，板簧(20)能够为了调节反射镜元件(10)而弹性地变形。
板簧微机械构件前侧面反射镜元件压电条侧面施加电压制造变形背离悬挂

[发明专利]微机械构件、其制造方法和用于运行微机械构件的方法-CN201310353488.1有效
发明人： J·穆霍;H·格鲁特杰克;J·弗兰茨;Z·莱什詹 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2013-05-13 - 公布日： 2017-06-20 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种微机械构件，具有一保持装置(10)；一驱动框架(12)，具有至少一个在驱动框架(12)上和/或内布置的能通电的线圈装置(16)，驱动框架通过至少一个框架弹簧(14)与保持装置(10)连接；一反射镜元件(20)，该反射镜元件悬挂在驱动框架(12)上，其中，反射镜元件(20)布置在两个反射镜弹簧(22a、22b)之间并且能绕反射镜转动轴线(24)相对所述驱动框架(12)调整，并且其中，反射镜元件(20)关于反射镜转动轴线(24)不对称地悬挂在驱动框架(12)上。本发明同样涉及用于微机械构件的一种制造方法。此外，本发明涉及用于运行微机械构件的方法。
微机构件制造方法用于运行

[发明专利]机械部件和用于机械部件的制造方法-CN201310756891.9有效
发明人： W·海因策尔曼;M·I·阿尔迪布斯;R·施特劳布;S·安布鲁斯特;S·平特;F·N·恩吉蒙齐;J·穆霍;H·格鲁特杰克;S·赖斯 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2013-10-25 - 公布日： 2014-05-14 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种机械部件，所述机械部件具有保持装置(50)、可调节部件(52)、第一传感器装置(64a)、第二传感器装置(64b)，所述可调节部件借助至少一个第一弹簧(54a)和至少一个第二弹簧(54b)通过围绕轴线(56)可调节的方式连接，其中，所述旋转轴线(56)延伸穿过所述第一弹簧(54a)在所述保持装置(50)上的第一锚定区域(58a)和所述第二弹簧(54b)在所述保持装置(50)上的第二锚定区域(58b)，所述第一传感器装置具有至少一个设置在所述第一弹簧(54a)上和／或中的第一电阻，所述第二传感器装置具有至少一个设置在所述第二弹簧(54b)上和／或中的第二电阻，其中，所述第一传感器装置(64a)包括第一惠斯登半电桥(65a)并且所述第二传感器装置(64b)包括第二惠斯登半电桥(65b)，其中，所述第一惠斯登半电桥(65a)和所述第二惠斯登半电桥(65b)连接成惠斯登全电桥。本发明也涉及一种用于机械部件的制造方法。
机械部件用于制造方法

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