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[发明专利]公共沉积平台、处理站及其操作方法-CN201480006962.6有效
发明人： N·莫里森;J·M·迭戈兹-坎波;H·兰格拉夫;T·斯托利;S·海恩;F·里斯;W·布施贝克 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-01-22 - 公布日： 2019-09-24 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：描述了一种沉积薄膜于基板上的设备。设备包括基板支撑件，具有外表面，引导基板沿基板支撑件的表面通过第一真空处理区域及至少一第二真空处理区域；对应第一处理区域的第一沉积源与对应该至少一第二真空处理区域的至少一第二沉积源，其中至少第一沉积源包括电极，具有表面，其中电极的表面相对基板支撑件的表面；处理气体入口及处理气体出口，其中处理气体入口及处理气体出口配置于电极的表面的数个相对侧；及至少一分离气体入口，具有一或数个分离气体入口开口，其中该一或数个分离气体入口开口至少提供于电极的表面的该些相对侧之一，使得处理气体入口及/或处理气体出口提供于该一或数个分离气体入口开口及电极的表面间。设备更包括一或数个真空法兰，提供至少一其它的气体出口于第一沉积源及该至少一第二沉积源间。
公共沉积平台处理及其操作方法

[发明专利]通过可调整的分离墙进行的气体分离-CN201480006989.5有效
发明人： H-G·洛茨;N·莫里森;J·M·迭戈兹-坎波;H·兰格拉夫;T·斯托利;S·海恩;F·里斯;W·布施贝克 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-01-22 - 公布日： 2019-08-02 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：描述了一种用于涂布薄膜于柔性基板上的设备。此设备包括涂布鼓轮及气体分离单元，涂布鼓轮具有外表面，用于导引柔性基板通过第一真空处理区域及至少一第二真空处理区域，气体分离单元用于分离第一真空处理区域与至少一第二真空处理区域，且适用于形成狭缝，柔性基板可通过涂布鼓轮的外表面与气体分离单元之间的所述狭缝，其中气体分离单元适用于通过调整气体分离单元的位置来控制在第一处理区域与第二处理区域之间的流体连通。
通过可调整分离进行气体