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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]曲状狭缝阀门-CN200510113224.4有效
发明人： Y·塔纳斯;B·C·梁;G·S·刘易斯;D·E·伯克斯齐瑟 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2005-06-14 - 公布日： 2006-04-05 - 主分类号： F16K1/20 文献下载
摘要：提供了用于密封腔室中的一基片转移通道的装置的实施例。在一个实施例中，用于密封腔室中的基片转移通道的装置包括一个细长的门构件，该门构件具有一凸出的密封面和一背面。在另一个实施例中，提供了一种具有用于密封基片转移通道的装置的腔室，该腔室包括：一个具有内部容积的腔室主体；至少一个被确定为穿过腔室主体的基片进出口，它被构造成允许大面积的基片穿过其中；以及一个门构件，该门构件具有一个凸出的密封面，它可以在覆盖基片转移开口的一第一位置和越过基片转移开口的第二位置之间移动。在又一个实施例中，腔室主体可以是一个载荷锁定腔室。
狭缝阀门

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