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[发明专利]紧凑型马达驱动的绝缘静电粒子加速器-CN201980029212.3在审
发明人： W·H·小帕克;T·H·斯米克;G·吕丁;R·霍纳 -专利权人：中子医疗股份有限公司
申请日： 2019-04-19 - 公布日： 2020-12-08 - 主分类号： H05H5/03 文献下载
摘要：根据一些实施方式，静电粒子加速器可包括：组件，该组件具有马达和支撑板；加速管；一个或多个级组件，每个级组件具有联接到共用驱动轴的交流发电机、联接到多个电极中的一个电极的电源、以及接收加速管的一部分的开口；压力容器，该压力容器被构造成当压力容器被紧固到支撑板时封闭加速管；以及循环器，该循环器被构造成将高压气体泵送到压力容器中。该加速管可以包括离子源、抽取组件、以及多个管段，每个管段具有多个电极以及附接到电极中的一个电极的一个或多个电源连接器。
紧凑型马达驱动绝缘静电粒子加速器

[发明专利]产生掺杂剂气体物质的方法-CN200510132021.X无效
发明人： G·吕丁;S·萨托 -专利权人：应用材料有限公司
申请日： 2005-12-16 - 公布日： 2006-07-26 - 主分类号： C30B31/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种产生掺杂剂气体物质的方法以及实施该方法的离子源，该掺杂剂气体物质含有注入目标的所需掺杂剂元素成分。具体而言，虽然并不排他，但本发明涉及使用离子注入机，产生注入半导体晶片的掺杂剂离子。本发明提供产生掺杂剂气体物质的方法，该掺杂剂气体物质含有注入目标的所需掺杂剂元素成分，该方法包括：将掺杂剂元素成分源堆或块暴露于气态溴，使得溴与所述元素成分反应，形成反应产物，并离子化该反应产物，以产生掺杂剂气体物质的离子。
产生掺杂气体物质方法