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[发明专利]高压断路器-CN200910159501.3有效
发明人： J·利德霍尔姆;F·简森 -专利权人： ABB技术有限公司
申请日： 2009-05-27 - 公布日： 2009-12-16 - 主分类号： H01H33/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种高压外壳带电断路器以及一种三相高压外壳带电断路器。高压外壳带电断路器，包括支承绝缘子(20)；至少一个在该支承绝缘子(20)上水平设置的伸长电流断续器(10)；连接到电流断续器端部的端子(30)；可选的一水平设置的伸长电容器(50)和/或电阻器(60)，其在所述端子之间与电流断续器(10)并联；以及至少一个至少部分环绕一个端子的电晕环(40)。该电晕环(40)设置成使得电晕环下端内表面和位于最低位置的电流断续器(10)、可选电容器(50)或可选电阻器(60)的中心轴(10a，50a，60a)之间的垂直距离(d1)比电晕环上端内表面和中心轴之间的距离(d2)短大约1.5到大约4倍之间。
高压断路器

[发明专利]衬底处理设备及相关的系统与方法-CN03819303.5无效
发明人： J·C·迪金森;F·简森;D·P·莫菲 -专利权人：波克爱德华兹股份有限公司
申请日： 2003-05-09 - 公布日： 2005-09-28 - 主分类号： C23C16/00 文献下载
摘要：处理微电子衬底(s)的设备(10)与方法包括主室(20)和可移动边界(15)，主室包括封闭主室室内(25)的主室壁(27，29)，可在第一位置(图4B)与第二位置(图4A)之间移动。在第一位置，可移动边界至少部分地限定可处理衬底的副室(90)。副室与主室室内流动隔离，提供适于高压处理衬底诸如清洗或表面制备的环境。副室能保持于高压，而主室保持于低压、大气压或真空。该设备能直接耦合外部衬底搬运和/或制造模块(210，401)，因而主室室内在副室与外部模块之间提供缓冲区。在可移动边界在第二位置，例如通过传入设置的任何外部模块或从其中取出，可将衬底装入该设备或从其中取出。
衬底处理设备相关系统方法