专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]多功能抛光垫-CN201010240775.8无效
  • M·J·库尔普;E·S·西蒙 - 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司
  • 2010-07-23 - 2011-02-02 - B24B37/04
  • 一种适合对包含铜、电介质、阻挡层和钨中至少一种的图案化的半导体基材进行抛光的抛光垫。抛光垫包含聚合物基质;该聚合物基质是多元醇掺混物、多胺或多胺混合物和甲苯二异氰酸酯的聚氨酯反应产物。多元醇掺混物是15-77重量%的聚丙二醇和聚四亚甲基醚乙二醇的混合物,该混合物的聚丙二醇与聚四亚甲基醚乙二醇重量比为20∶1至1∶20。多胺或多胺混合物占8-50重量%;甲苯二异氰酸酯为15-35重量%的单体或部分反应的甲苯二异氰酸酯的单体。
  • 多功能抛光

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