专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]多旋转外延生长设备和包含该设备的反应器-CN201080055924.1有效
  • M.J.伯格曼;D.T.埃默森;D.D.塞贝尔 - 克里公司
  • 2010-10-08 - 2012-08-15 - C30B25/12
  • 一种用在CVD反应器中的基座设备,其包括具有中心齿轮的主盘。所述主盘具有对置的第一侧面和第二侧面、中心凹口以及多个周向间隔开的凹部,所述中心凹口在第二侧面中形成,所述凹部在第一侧面中形成。所述中心齿轮被定位在中心凹口内,并且卫星盘在各自的凹部内是单独可旋转的。每个凹部具有外围壁,外围壁具有与中心凹口相连通的开口。中心齿轮齿通过各自的壁开口延伸进每个凹部中,并且与同每个行星盘相关联的行星齿轮接合。主盘围绕着其旋转轴的旋转致使卫星盘围绕着它们单独的旋转轴旋转。
  • 旋转外延生长设备包含反应器

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