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- [发明专利]杯芳烃化合物和包含该杯芳烃化合物的抗蚀剂组合物-CN201210496882.6有效
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V·简恩;D·P·格林;B·C·贝利
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罗门哈斯电子材料有限公司;陶氏环球技术有限公司
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2012-09-20
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2013-04-03
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C07C67/29
- 一种分子玻璃化合物，其包括式(I)的芳族化合物与(II)的多环或稠合多环芳香醛的四聚反应产物，C6R1x(OR2)y (I)其中，R1为，H、F、C1-20烷基、C1-20卤烷基、C6-20芳基、C6-20卤芳基、C7-20芳烷基、或C7-20卤代芳烷基，R2为H、C1-20烷基、C1-20卤烷基，x为6-y且y为2或3，至少一个OR2基团为羟基，以及至少两个OR2基团是彼此处于间位的；Ar1-CHO (II)其中，Ar1是取代的、卤取代的或非取代的C4-20杂环含芳族基团的基团，或取代的、卤取代的或非取代的C8-20稠合多环芳族部分；以及，酸可除去保护基团，作为与芳族化合物的羟基、所述多环或稠合多环芳香醛的羟基、或包括以上至少之一的组合的加合物。本发明还公开了包含所述分子玻璃化合物的光致抗蚀剂，本发明还公开了涂覆的基材，该涂覆基材包括(a)在其表面上具有待形成图案的一个层或多个层的基材，和(b)在待形成图案的一个层或多个层上的光致抗蚀剂组合物层。
- 芳烃化合物包含抗蚀剂组合
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