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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]用于输送前体材料的容器和方法-CN202210314638.7在审
发明人： C·M·伯特彻;T·A·斯泰德尔;S·V·伊万诺夫 -专利权人：弗萨姆材料美国有限责任公司
申请日： 2016-04-18 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本文公开了一种容器，其用于利用载气从包含在所述容器内的前体材料输送含有前体的流体流。所述容器限定分段为上空间和下空间的内部空间，所述上空间与所述下空间流体连通，所述下空间包含基本上所有所述前体材料并通过分隔体与所述上空间分隔开。所述容器包括从入口端口延伸通过所述分隔体、具有远端并且沿所述容器的底部内壁延伸的扩散管，所述远端具有多个形成于其中的开口。
用于输送材料容器方法

[发明专利]沉积工艺中用于化学前体的容器-CN201610320197.6有效
发明人： J·P·内尔森;C·M·伯特彻 -专利权人：弗萨姆材料美国有限责任公司
申请日： 2016-05-13 - 公布日： 2020-11-20 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本文公开的是存储和递送用于制造半导体器件的化学前体的系统以及使用该系统的方法。在一个方面，该存储系统包括该化学前体和容器，并且所述系统具有入口射流设计。所述化学前体在设定用于递送的容器温度下具有小于约50托‑绝对压力的低蒸气压。该递送系统还包含载气。该入口射流设计可以以一定压力和一定的低速率递送载气，以撞击在所述化学前体表面上而产生所述化学前体的蒸气或小滴。所述化学前体的蒸气或小滴然后与所述载气合并以提供负载前体的流体流，所述负载前体的流体流将传送到加工设备并在该加工设备中使用。
沉积工艺用于化学容器

[发明专利]用于安瓿的可移除的阀门护罩-CN201810791326.9有效
发明人： J·E·贝克;C·M·伯特彻 -专利权人：弗萨姆材料美国有限责任公司
申请日： 2018-07-18 - 公布日： 2020-09-25 - 主分类号： F16K27/00 文献下载
摘要：提供可完全移除的护架或阀门护罩，其可在容器的顶部、侧面和底部支撑容器。如果所述容器跌落在其侧面或顶部上，则所述可移除的护架或阀门护罩提供保护。所提供的保护允许所述容器通过根据49CFR第178.603节的跌落测试，因此可以根据49 CFR 178.504认证所述容器。
用于安瓿阀门护罩

[发明专利]具有流量分配器的递送容器-CN201710335600.7有效
发明人： C·M·伯特彻;J·P·内尔森;S·V·伊万诺夫;T·A·斯泰德尔;康慨;W·H·贝利三世 -专利权人：弗萨姆材料美国有限责任公司
申请日： 2017-05-12 - 公布日： 2020-05-05 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本文描述的是用于在沉积工艺的容器中提供前体利用率的改进的递送容器、系统和其使用方法，以及容器的清洁和再填充。所述容器设计有允许载气从流量分配器递送的结构。所述流量分配器包括多个小开口(喷口)，载气通过其进入前体腔室并冲击在所述化学前体表面上以产生蒸气。
具有流量分配器递送容器

[实用新型]可完全移除的阀门护罩及用于材料的递送和包装系统-CN201821152068.1有效
发明人： J·E·贝克;C·M·伯特彻 -专利权人：弗萨姆材料美国有限责任公司
申请日： 2018-07-18 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： F16K27/00 文献下载
摘要：提供可完全移除的阀门护罩及用于材料的递送和包装系统，该可完全移除的阀门护罩可在容器的顶部、侧面和底部支撑所述容器。如果所述容器跌落在其侧面或顶部上，则所述可移除的阀门护罩提供保护。所提供的保护允许所述容器通过根据49CFR第178.603节的跌落测试，因此可以根据49 CFR 178.504认证所述容器；该用于材料的递送和包装系统包括所述可完全移除的阀门护罩。
阀门护罩移除包装系统递送跌落底部支撑侧面可移除测试认证

[发明专利]超声液位传感系统-CN201410206617.9有效
发明人： C·M·伯特彻;T·A·斯泰德尔 -专利权人：弗萨姆材料美国有限责任公司
申请日： 2014-05-15 - 公布日： 2019-12-13 - 主分类号： G01F23/296 文献下载
摘要：本发明的实施方式提供了用于测量密封容器内液位的具有增加数量(例如，十二个)的超声传感器的超声探头。所述超声探头包括颈管，其使得所述超声探头尽管具有容纳所述增加数量的超声传感器的加大的桶，也可与现有的标准化容器配件一起使用。本发明的实施方式还提供了系统和方法，其中超声探头中的超声传感器被一次一个地激活，以减少所述超声传感器及其配线之间的串扰。
超声传感系统

[发明专利]用于输送前体材料的容器和方法-CN201910951469.6在审
发明人： C·M·伯特彻;T·A·斯泰德尔;S·V·伊万诺夫 -专利权人：弗萨姆材料美国有限责任公司
申请日： 2016-04-18 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本文公开了一种容器，其用于利用载气从包含在所述容器内的前体材料输送含有前体的流体流。所述容器限定分段为上空间和下空间的内部空间，所述上空间与所述下空间流体连通，所述下空间包含基本上所有所述前体材料并通过分隔体与所述上空间分隔开。所述容器包括从入口端口延伸通过所述分隔体、具有远端并且沿所述容器的底部内壁延伸的扩散管，所述远端具有多个形成于其中的开口。
上空间下空间前体材料分隔体远端底部内壁流体连通入口端口扩散管流体流延伸前体载气分隔分段开口

[发明专利]超声液位传感系统-CN201510549187.5有效
发明人： C·M·伯特彻;T·A·斯泰德尔 -专利权人：弗萨姆材料美国有限责任公司
申请日： 2015-08-31 - 公布日： 2019-02-19 - 主分类号： G01F23/296 文献下载
摘要：一种用于测量密封容器内的液位的具有超声传感器(例如，压电晶体)的超声探头，其具有使得探头更可靠且能够随着容器接近于空的状态得到更精确的液位读数的特征。实施方式包括在探头的下端使超声传感器间隔更密切，偏置传感器以使得其垂直间隔能够更紧密，用于冗余的匹配的传感器对，和位于探头下端的面向下的传感器以降低可通过探头精确测量的最小液位。还可以提供坑槽以进一步降低可通过探头精确测量的最小液位。
超声传感系统

[发明专利]超声液位传感系统-CN201811082702.3在审
发明人： C·M·伯特彻;T·A·斯泰德尔 -专利权人：弗萨姆材料美国有限责任公司
申请日： 2014-05-15 - 公布日： 2019-01-15 - 主分类号： G01F23/296 文献下载
摘要：本发明的实施方式提供了用于测量密封容器内液位的具有增加数量(例如，十二个)的超声传感器的超声探头。所述超声探头包括颈管，其使得所述超声探头尽管具有容纳所述增加数量的超声传感器的加大的桶，也可与现有的标准化容器配件一起使用。本发明的实施方式还提供了系统和方法，其中超声探头中的超声传感器被一次一个地激活，以减少所述超声传感器及其配线之间的串扰。
超声传感器超声探头测量密封容器液位传感系统容器配件超声串扰颈管内液配线标准化激活容纳

[发明专利]具有过滤器的容器-CN201810346480.5在审
发明人： C·M·伯特彻;T·A·斯特德尔;雷新建;S·V·伊瓦诺夫 -专利权人：弗萨姆材料美国有限责任公司
申请日： 2013-05-27 - 公布日： 2018-09-25 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：一种容器，用于从所述容器内含有的前体材料中传输含前体流体流，所述容器包括：由顶、一个或多个侧壁及底限定的内部体积；和至少一个用于气化的前体的流体出口，和至少一个颗粒屏障，所述至少一个颗粒屏障限定了在内部体积中的至少一个颗粒限制空间的至少部分，其中所述至少一个颗粒屏障包括至少一个三维过滤器。本发明还公开了使用该设备的方法。
颗粒屏障过滤器流体出口前体材料前体流体限制空间气化的侧壁前体三维传输

[实用新型]具有流量分配器的递送容器-CN201720528774.0有效
发明人： C·M·伯特彻;J·P·内尔森;S·V·伊万诺夫;T·A·斯泰德尔;K·康;W·H·贝利三世 -专利权人：弗萨姆材料美国有限责任公司
申请日： 2017-05-12 - 公布日： 2018-07-27 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本文描述的是用于在沉积工艺的容器中提供前体利用率的改进的递送容器、系统和其使用方法，以及容器的清洁和再填充。所述容器设计有允许载气从流量分配器递送的结构。所述流量分配器包括多个小开口(喷口)，载气通过其进入前体腔室并冲击在所述化学前体表面上以产生蒸气。
流量分配器递送载气容器设计小开口再填充喷口前体体腔沉积清洁改进

[发明专利]用于输送前体材料的容器和方法-CN201610244829.5有效
发明人： C·M·伯特彻;T·A·斯泰德尔;S·V·伊万诺夫 -专利权人：气体产品与化学公司
申请日： 2016-04-18 - 公布日： 2016-10-26 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本文公开了一种容器，其用于利用载气从包含在所述容器内的前体材料输送含有前体的流体流。所述容器限定分段为上空间和下空间的内部空间，所述上空间与所述下空间流体连通，所述下空间包含基本上所有所述前体材料并通过分隔体与所述上空间分隔开。所述容器包括从入口端口延伸通过所述分隔体、具有远端并且沿所述容器的底部内壁延伸的扩散管，所述远端具有多个形成于其中的开口。
用于输送材料容器方法

[发明专利]超声液位传感系统-CN201510450937.3有效
发明人： C·M·伯特彻;T·A·斯泰德尔 -专利权人：气体产品与化学公司
申请日： 2014-05-15 - 公布日： 2015-11-04 - 主分类号： G01F23/296 文献下载
摘要：本发明的实施方式提供了用于测量密封容器内液位的具有增加数量(例如，十二个)的超声传感器的超声探头。所述超声探头包括颈管，其使得所述超声探头尽管具有容纳所述增加数量的超声传感器的加大的桶，也可与现有的标准化容器配件一起使用。本发明的实施方式还提供了系统和方法，其中超声探头中的超声传感器被一次一个地激活，以减少所述超声传感器及其配线之间的串扰。
超声传感系统

[发明专利]具有过滤器的容器-CN201310399699.9在审
发明人： C·M·伯特彻;T·A·斯特德尔;雷新建;S·V·伊瓦诺夫 -专利权人：气体产品与化学公司
申请日： 2013-05-27 - 公布日： 2014-01-01 - 主分类号： B01D46/00 文献下载
摘要：一种容器，用于从所述容器内含有的前体材料中传输含前体流体流，所述容器包括：由顶、一个或多个侧壁及底限定的内部体积；和至少一个用于气化的前体的流体出口，和至少一个颗粒屏障，所述至少一个颗粒屏障限定了在内部体积中的至少一个颗粒限制空间的至少部分，其中所述至少一个颗粒屏障包括至少一个三维过滤器。本发明还公开了使用该设备的方法。
具有过滤器容器

[发明专利]用于高流速真空起泡器容器的防溅器-CN201310025264.8无效
发明人： C·M·伯特彻;T·A·斯特德尔 -专利权人：气体产品与化学公司
申请日： 2013-01-16 - 公布日： 2013-07-17 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本发明涉及一种贮存器，其具有：浸管入口；至少一个挡盘，其定位在该浸管的出口和该贮存器的出口之间以便在该挡盘和该贮存器侧壁之间提供狭窄的环状空间，以防止液滴进入该贮存器的出口和其侧壁的内表面；以及在该侧壁上的径向向内伸出的环状的偏转突出部，其邻近所述挡盘。本发明还涉及一种从具有上述结构的贮存器输送化学前体的方法。本发明设想液体输送和蒸汽输送。
用于流速真空起泡容器防溅器

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