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[发明专利]真空软管收回系统-CN201680009869.X有效
发明人： B·格拉韦斯;C·梅尔卡多 -专利权人： M.D.制造有限公司
申请日： 2016-02-24 - 公布日： 2020-12-25 - 主分类号： A47L9/24 文献下载
摘要：本发明提供了呈单个紧凑单元的独特的便携式或固定式软管收回系统，该紧凑单元具有软管、用于存储软管的腔室或气室、真空源以及附接到腔室或气室的独特阀机构，该阀机构用于当使用紧凑单元时将软管保持在适当的位置，并且用于释放软管以允许由用户伸出软管或由使用真空源的系统收回软管。具有过滤器的可选的碎屑收集腔室可以设置为邻接于真空软管腔室，使得真空源通过碎屑收集腔室并通过真空软管腔室吸取空气。
真空软管收回系统

[发明专利]用于同步暗场及相位对比检验的系统及方法-CN201580038195.1有效
发明人：黄传勇;李晴;D·佩蒂伯恩;B·格拉韦斯 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2015-07-21 - 公布日： 2019-02-01 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于同步暗场DF及差分干涉对比DIC检验的检验设备，其包含照明源及经配置以固定样本的样本载物台。所述检验设备包含第一传感器、第二传感器及光学子系统。所述光学子系统包含物镜、一或多个光学元件，所述光学元件经布置以通过所述物镜将来自所述一或多个照明源的照明引导到所述样本的表面。所述物镜经配置以收集来自所述样本的所述表面的信号，其中所述收集到的信号包含来自所述样本的基于散射的信号及/或基于相位的信号。所述检验设备包含一或多个分离光学元件，其经布置以通过沿着DF路径及DIC路径分别引导DF信号及DIC信号，将所述收集到的信号在空间上分离成所述DF信号与所述DIC信号。
用于同步暗场相位对比检验系统方法