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[发明专利]磺酸衍生物及其作为潜酸的用途-CN03803305.4有效
发明人： A·马特舒莫托;H·亚马托;T·阿萨库拉;P·穆雷尔 -专利权人：西巴特殊化学品控股有限公司
申请日： 2003-01-28 - 公布日： 2005-06-15 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：化学放大的光致抗蚀剂组合物，包含(a)在一种酸或一种其溶解度在酸的作用时增大的化合物的作用时固化的一种化合物；和(b)式Ia、Ib、IIa、IIb、IIIa、IIIb、IVa、IVb、Va、Vb、或VIa的化合物，式中n是1或2；m是0或1；X₀是－[CH₂]_h－X或－CH＝CH₂；h是2、3、4、5或6；R₁当n是1时是诸如任选地有取代的苯基、萘基、蒽基、菲基、或杂芳基；R₁当n是2时是诸如任选地有取代的亚苯基或亚萘基；R₂诸如有R₁的含义之一；X是诸如－OR₂₀、－NR₂R₂₂、－SR₂₃；X’是－X₁－A₃－X₂－；X₁和X₂是诸如－O－、－S－或一个直接键；A₃是诸如亚苯基；R₃有诸如对R₁给出的含义之一；R₄有诸如对R₂给出的含义之一；R₅和R₆是诸如氢；Gi.a.是－S－或－O－；R₇当n是1时是诸如任选地有取代的苯基，当n是2时是诸如亚苯基；R₈和R₉是诸如C₁－C₁₈烷基；R₁₀有对R₇给出的含义之一；R₁₁i.a.是C₁－C₁₈烷基；R₁₂、R₁₃、R₁₄、R₁₅、R₁₆、R₁₇和R₁₈是诸如氢或C₁－C₁₈烷基；R₂₀、R₂₁、R₂₂和R₂₃i.a.是苯基或C₁－C₁₈烷基；给出高分辨率和良好抗蚀剂形象。
衍生物及其作为用途

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