专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]稳流控制装置-CN03120926.2无效
  • 张卫;龚光祥;左祥顺 - 北京七星华创电子股份有限公司
  • 2003-03-25 - 2004-09-29 - G05D7/00
  • 本发明公开了一种稳流控制装置,机、电结合,可控制气体流量的稳定性。它在普通的电磁调节阀(14)中增加了一个二次调节阀(8),二次调节阀(8)由阀腔(3)、压力腔(11)、膜片(10)、密封垫(9)、弹簧(7)、阀口(6)组成。利用膜片(10)两侧的压力差对膜片(10)的影响,推动密封垫(9)移动,从而控制阀的开度,使阀口(6)输出的气体流量稳定。采用这种稳流控制装置的质量流量控制器,可提供微观层面的稳定流量,适于气相色谱仪、微电子工艺设备等对流量微观稳定性具有较高要求的场合。
  • 控制装置
  • [实用新型]稳流控制装置-CN03242473.6无效
  • 张卫;龚光祥;左祥顺 - 北京七星华创电子股份有限公司
  • 2003-03-25 - 2004-07-07 - G05D7/01
  • 本实用新型公开了一种稳流控制装置,机、电结合,可控制气体流量的稳定性。它在普通的电磁调节阀(14)中增加了一个二次调节阀(8),二次调节阀(8)由阀腔(3)、压力腔(11)、膜片(10)、密封垫(9)、弹簧(7)、阀口(6)组成。利用膜片(10)两侧的压力差对膜片(10)的影响,推动密封垫(9)移动,从而控制阀的开度,使阀口(6)输出的气体流量稳定。采用这种稳流控制装置的质量流量控制器,可提供微观层面的稳定流量,适于气相色谱仪、微电子工艺设备等对流量微观微观稳定性具有较高要求的场合。
  • 控制装置

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