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[实用新型]一种具有双向水路的等离子清洗模块及等离子清洗设备-CN202320849599.0有效
发明人：王俊锋;彭子阳;周敏;黎志跃;刘谋苗;冯瑞清;李辉;邓进彪;谢文彪;叶荣康 -专利权人：广东鼎泰机器人科技有限公司
申请日： 2023-04-14 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H05K3/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及等离子蚀刻的技术领域，公开了一种具有双向水路的等离子清洗模块及等离子清洗设备，所述等离子清洗模块包括至少两块沿一方向依次间隔布置的电极板，相邻的两块所述电极板之间均具有用于供待清洗物体放置的间隙，相邻两块所述电极板的极性相反，以使各所述间隙内具有用于离化气体的电场，所述电极板内具有双向水路，所述双向水路具有用于供冷却液进入的进液口及用于供冷却液排出的出液口，所述进液口和所述出液口相邻布置。本技术方案将进液口和出液口设置为相邻布置，使冷却液从进液口进入到电极板内后需要反向折返才能向外排出，使用此双向水路，使电极板的温度更加均匀，进而使得除胶性能更加均匀。
一种具有双向水路等离子清洗模块设备

[实用新型]一种等离子清洗设备-CN202320849491.1有效
发明人：王俊锋;彭子阳;周敏;黎志跃;刘谋苗;冯瑞清;李辉;邓进彪;谢文彪;叶荣康 -专利权人：广东鼎泰机器人科技有限公司
申请日： 2023-04-14 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H05K3/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及等离子蚀刻领域，公开了一种等离子清洗设备，包括蚀刻箱体、等离子清洗模块、料框、压力计和真空泵，所述蚀刻箱体设有蚀刻腔室及抽气口；所述等离子清洗模块包括两个气排组件及至少两个电极板，多个电极板沿一方向依次间隔布置且互相平行，相邻的两块电极板之间均具有间隙，两气排组件用于向间隙内相对地喷射待离化气体，相邻两个电极板在通电时产生交变电场，所述间隙内设置有与交变电场的电场线垂直相交的磁场；所述压力计与蚀刻腔室相连通；所述真空泵与抽气口连接并用于驱动蚀刻腔室内的气体从抽气口向外排出。本申请主要解决现有的等离子清洗设备清洗速率较慢且清洗的均匀程度较差的技术问题。
一种等离子清洗设备

[实用新型]一种等离子清洗模块-CN202320849404.2有效
发明人：王俊锋;彭子阳;周敏;黎志跃;刘谋苗;冯瑞清;李辉;邓进彪;谢文彪;叶荣康 -专利权人：广东鼎泰机器人科技有限公司
申请日： 2023-04-14 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H05K3/26 文献下载
摘要：本实用新型涉及等离子蚀刻领域，公开了一种等离子清洗模块，包括两个气排组件及至少两个电极板，多个电极板沿一方向依次间隔布置，相邻的两块电极板之间均具有间隙，两气排组件用于向间隙内相对地喷射待离化气体，相邻两个电极板在通电时产生交变电场，所述间隙内设置有与交变电场相交的磁场，在交变电场和磁场的共同作用下，电子由往复运动变为螺旋回转运动，从而增大了电子的行程，进而增大了电子与中性粒子的碰撞频率，因此增大了活性粒子的密度，提高活性粒子往深孔扩散的动力，增强了活性粒子的迁移能力，而且增强了等离子体中反应物质的化学反应，从而促进电路板表面和孔内咬蚀速率及均匀性的提升。
一种等离子清洗模块

[实用新型]一种通气均匀的等离子清洗模块及等离子清洗设备-CN202320849443.2有效
发明人：王俊锋;彭子阳;周敏;黎志跃;刘谋苗;冯瑞清;李辉;邓进彪;谢文彪;叶荣康 -专利权人：广东鼎泰机器人科技有限公司
申请日： 2023-04-14 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H05K3/26 文献下载
摘要：本实用新型涉及等离子蚀刻的技术领域，公开了一种通气均匀的等离子清洗模块及等离子清洗设备，所述通气均匀的等离子清洗模块包括两个气排组件及设置于两所述气排组件之间的至少两个电极板，多个所述电极板沿一方向依次间隔布置，相邻的两块所述电极板之间均具有用于供待清洗物体放置的间隙，两所述气排组件用于向所述间隙内相对地喷射待离化气体，相邻两块所述电极板的极性相反，以使所述间隙内的待离化气体能够离化为用于清洗物体的等离子。本申请主要解决现有的等离子清洗模块存在通气不均匀的技术问题。
一种通气均匀等离子清洗模块设备

[实用新型]一种钻针承载治具-CN202320371965.6有效
发明人：王俊锋;彭子阳;黎志跃;曹时义;叶荣康;周敏;李映江;冯瑞清;邓进彪;谢文彪 -专利权人：广东鼎泰机器人科技有限公司
申请日： 2023-03-01 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及治具领域，公开了一种钻针承载治具，包括底板和可拆卸安装在所述底板上的顶盖；所述底板上设置有用于定位钻针的柄部的定位盲孔，所述顶盖对应所述定位盲孔设置有限位通孔；所述限位通孔的孔径小于钻针的柄部的最大外径，且大于钻针的钻刃部的外径。本实用新型中的钻针承载治具，能更好地固定钻针，可以有效防止钻针从钻针承载治具上跌落地面。
一种承载

[实用新型]一种钻针镀膜支架-CN202320372046.0有效
发明人：王俊锋;彭子阳;黎志跃;曹时义;叶荣康;周敏;李映江;冯瑞清;邓进彪;谢文彪 -专利权人：广东鼎泰机器人科技有限公司
申请日： 2023-03-01 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型涉及钻针镀膜装置领域，公开了一种钻针镀膜支架，包括转动架和钻针承载治具，所述转动架包括架体和安装在所述架体上的若干组挂钩组；所述挂钩组包括设置在所述架体上的至少两个挂钩，所述至少两个挂钩从上到下依次间隔设置；一个所述钻针承载治具设置在同一所述挂钩组的两个所述挂钩之间，所述钻针承载治具的一端悬挂在一个所述挂钩上，所述钻针承载治具的另一端限定在所述架体与另一个所述挂钩所形成的卡紧空间内。本实用新型的钻针镀膜支架，能有效避免钻针承载治具和架体之间产生过大的碰撞，有利于提升钻针的镀膜质量和生产效率。
一种镀膜支架

[发明专利]一种等离子清洗模块及等离子清洗方法-CN202310406578.6在审
发明人：王俊锋;彭子阳;周敏;黎志跃;刘谋苗;冯瑞清;李辉;邓进彪;谢文彪;叶荣康 -专利权人：广东鼎泰机器人科技有限公司
申请日： 2023-04-14 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及等离子蚀刻领域，公开了一种等离子清洗模块及等离子清洗方法，所述等离子清洗模块包括两个气排组件及至少两个电极板，多个电极板沿一方向依次间隔布置，相邻的两块电极板之间均具有间隙，两气排组件用于向间隙内相对地喷射待离化气体，相邻两个电极板在通电时产生交变电场，所述间隙内设置有与交变电场相交的磁场，在交变电场和磁场的共同作用下，电子由往复运动变为螺旋回转运动，从而增大了电子的行程，进而增大了电子与中性粒子的碰撞频率，因此增大了活性粒子的密度，提高活性粒子往深孔扩散的动力，增强了活性粒子的迁移能力，而且增强了等离子体中反应物质的化学反应，从而促进电路板表面和孔内咬蚀速率及均匀性的提升。
一种等离子清洗模块方法

[发明专利]一种等离子清洗设备及等离子清洗方法-CN202310406598.3在审
发明人：王俊锋;彭子阳;周敏;黎志跃;刘谋苗;冯瑞清;李辉;邓进彪;谢文彪;叶荣康 -专利权人：广东鼎泰机器人科技有限公司
申请日： 2023-04-14 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： H05K3/00 文献下载
摘要：本发明涉及等离子蚀刻领域，公开了一种等离子清洗设备及等离子清洗方法，所述等离子清洗设备包括蚀刻箱体、等离子清洗模块、料框、压力计和真空泵，所述蚀刻箱体设有蚀刻腔室及抽气口；所述等离子清洗模块包括两个气排组件及至少两个电极板，多个电极板沿一方向依次间隔布置，相邻的两块电极板之间均具有间隙，两气排组件用于向间隙内相对地喷射待离化气体，相邻两个电极板在通电时产生交变电场，所述间隙内设置有与交变电场的电场线垂直相交的磁场；所述压力计与蚀刻腔室相连通；所述真空泵与抽气口连接并用于驱动蚀刻腔室内的气体从抽气口向外排出。本申请主要解决现有的等离子清洗设备清洗速率较慢且清洗的均匀程度较差的技术问题。
一种等离子清洗设备方法

[发明专利]一种等离子蚀刻设备及蚀刻除胶方法-CN202310406231.1在审
发明人：王俊锋;周敏;刘谋苗;黎志跃;彭子阳;冯瑞清 -专利权人：广东鼎泰机器人科技有限公司
申请日： 2023-04-14 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H05K3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子蚀刻设备及蚀刻除胶方法，通过在电极板中嵌入永磁铁组，永磁铁组的充磁面与电极板的平面相互垂直，所述永磁铁组的充磁面与所述电极板的平面相互垂直,以使通电状态下不同所述电极板间产生的磁场与所述电极板上产生的交变电场相互垂直，在交变电场的作用下，将反应气体离化为等离子体，通过磁场的合理布置，在磁场的作用下，等离子体的浓度和化学活性增加，从而提高对孔内残胶的咬蚀速度和均匀性。
一种等离子蚀刻设备方法

[实用新型]公自转式传动机构及镀膜设备-CN202221245280.9有效
发明人：王俊锋;彭子阳;黎志跃;燕伟钊 -专利权人：广东鼎泰机器人科技有限公司
申请日： 2022-05-23 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及镀膜设备技术领域，公开了一种公自转式传动机构及镀膜设备，包括公转底托和自转底托，自转底托能随公转底托的自转发生公转，公转底托自转时通过传动组件带动自转底托发生自转；自转底托上设有用于放置镀件的放置槽，放置槽为通槽，当镀件置于放置槽内时，镀件的底部与公转底托接触；当自转底托发生自转时，镀件与公转底托之间形成的摩擦力驱使镀件发生自转。通过镀件与公转底托之间的相对摩擦形成摩擦力以驱使镀件发生自转，有效地降低了由于镀件之间发生的相互遮挡导致镀膜不充分的情形，进而提高了镀膜质量。
自转传动机构镀膜设备

[实用新型]一种辅助镀膜装置及镀膜设备-CN202221245299.3有效
发明人：王俊锋;彭子阳;黎志跃;燕伟钊 -专利权人：广东鼎泰机器人科技有限公司
申请日： 2022-05-23 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及镀膜技术领域，公开了一种辅助镀膜装置及镀膜设备，包括：转盘组件，所述转盘组件包括旋转托盘和套杯；所述旋转托盘可受驱旋转，所述套杯与所述旋转托盘转动连接，所述旋转托盘旋转时，所述套杯绕所述旋转托盘的中心轴公转，并可受驱发生自转；所述套杯的外壁设有槽状部；拨动件，设于所述转盘组件的周侧，与所述套杯的外壁接触连接，用于在所述旋转托盘旋转时作用于所述槽状部，以拨动所述套杯发生自转。通过设置拨动件，在套杯随旋转托盘旋转的同时，能够因拨动件对槽状部的拨动而使套杯发生自转，不需要针对每个套杯设置旋转驱动机构，大幅度降低了辅助镀膜装置的成本，同时有效降低了镀膜设备的组装难度。
一种辅助镀膜装置设备

[实用新型]一种镀膜用装夹治具及镀膜设备-CN202220282469.9有效
发明人：王俊锋;彭子阳;黎志跃;周敏;袁明 -专利权人：广东鼎泰机器人科技有限公司
申请日： 2022-02-11 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种镀膜用装夹治具及镀膜设备；治具包括治具底座与治具顶座；治具顶座开设有工件安装孔；治具底座对应工件安装孔的位置设置有摩擦部。在进行镀膜工艺时，治具顶座相对于治具底座转动，以带动工件沿治具顶座的轴线作圆周转动；另外，由于工件的底端穿过工件安装孔与摩擦部接触，使得治具顶座相对于治具底座转动时工件的底端与摩擦部之间产生摩擦力，该摩擦力使得工件沿工件安装孔的轴线作自转；通过上述设置，使得工件进行镀膜工艺时，工件既能够沿治具顶座的轴线作圆周转动，又能够沿工件安装孔的轴线作自转，保证工件的靠近其圆心的一侧面与远离其圆心的一侧面的镀膜一致性，从而提高了镀膜设备的镀膜均匀性。
一种镀膜用装夹治具设备

[实用新型]一种倾斜式工件装夹治具及镀膜设备-CN202220282477.3有效
发明人：王俊锋;彭子阳;黎志跃;周敏;袁明 -专利权人：广东鼎泰机器人科技有限公司
申请日： 2022-02-11 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种倾斜式工件装夹治具及镀膜设备，其在进行镀膜时候，各个倾斜式工件安装单元的工件安装面上均安装有多个钻针等工件；由于工件安装面相对于竖直方向倾斜设置，即工件安装面与竖直方向不垂直，对于任一倾斜式工件安装单元而言，沿垂直于其工件安装面的方向，其顶部的倾斜式工件安装单元与该倾斜式工件安装单元相错开，使得顶部的倾斜式工件安装单元不能全部覆盖倾斜式工件安装单元，从而减少上一层的倾斜式工件安装单元对下一层的倾斜式工件安装单元处的电场的影响，进而保证下一层的倾斜式工件安装单元上的工件的刻蚀效果与镀膜效果，使膜层更好更均匀。
一种倾斜工件装夹治具镀膜设备

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