专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种物理气相沉积设备-CN202321179309.2有效
  • 钟成林;吕琛;王世波;高存旺 - 山东华通新材料科技有限公司
  • 2023-05-16 - 2023-10-03 - C23C14/56
  • 本实用新型公开了一种物理气相沉积设备,包括壳体,所述壳体的内部自下而上依次开设有真空覆膜室、清洁室、储水室;所述真空覆膜室的内侧设置有用于工件转动、升降的调整组件;所述真空覆膜室与清洁室之间设置有通孔,所述通孔的内侧开设有收纳槽,所述收纳槽的内部滑动连接有密封板,所述壳体的外部固定安装有用于控制密封板移动的第二电动推杆;所述清洁室的内部设置有用于工件清洁的清洁组件。本实用新型将工件的清洁、覆膜一体化,无需在转运浪费时间,也避免工件受污染,导致气相沉积不均匀。
  • 一种物理沉积设备
  • [实用新型]一种用于水平溅射真空镀膜机的运动机构-CN202223027157.2有效
  • 靳世旭;潘远志;高存旺;刘鑫 - 苏州博志金钻科技有限责任公司
  • 2022-11-14 - 2023-03-14 - C23C14/50
  • 本申请属于真空镀膜技术领域,为提高膜层的均匀性,提出一种用于水平溅射真空镀膜机的运动机构。其包括载盘的底部装配太阳轮,挂装组件中下限位盘、支撑盘、上限位盘均同轴装配于传动杆上,其中支撑盘装配于传动杆底端附近,下限位盘位于支撑盘底部下方,上限位盘装配于传动杆顶端附近;支撑盘与下限位盘之间的小柱端外侧壁上固定装配所述拨齿;伸出载盘底部的传动杆外侧壁同轴方式固定装配行星轮,行星轮与太阳轮通过齿轮或皮带传动连接;所述拨叉组件一端固定装配于支撑杆的外侧壁上,拨叉组件另一端为自由端并设置于拨齿的绕传动杆旋转的轨迹线上,拨叉组件自由端间歇性与拨齿配合。本申请结构简单,易于批量化的镀制均匀膜层。
  • 一种用于水平溅射真空镀膜运动机构
  • [实用新型]一种用于水平溅射镀膜的夹具-CN202222648963.5有效
  • 靳世旭;潘远志;高存旺;刘鑫;邓敏航;许文天;薛波;高波 - 苏州博志金钻科技有限责任公司
  • 2022-10-09 - 2023-01-03 - C23C14/35
  • 本申请属于磁控溅射镀膜设备技术领域,公开一种用于水平溅射镀膜的夹具。该用于水平溅射镀膜的夹具包括:弓形柱、下定位销、上定位销;弓形柱由立柱、平行设置的上横梁及下横梁组成,上横梁及下横梁的一端分别水平装配于立柱的上端及下端;上定位销设置于上横梁顶部居中位置,下定位销设置于下横梁底部居中位置;立柱上设置夹持单元;夹持单元由刚性夹持臂与弹性夹持臂组成,夹持单元中刚性夹持臂设置于弹性夹持臂下方,刚性夹持臂用于支撑并夹持待镀膜工件底部,弹性夹持臂用于夹持待镀膜工件顶部。本申请中用于水平溅射镀膜的夹具对不同尺寸和形状的基片镀膜工艺具有较佳的兼容性,适合集群架构或标准半导体类型的自动化、适用于大批量生产。
  • 一种用于水平溅射镀膜夹具
  • [发明专利]镁合金连铸炉用塞棒装置-CN200810162090.9无效
  • 周学华;高存旺;胡少峰;黄元伟;陈秋荣 - 嘉兴中科亚美合金技术有限责任公司
  • 2008-11-20 - 2009-04-22 - B22D11/10
  • 一种镁合金连铸炉用塞棒装置,它包括石墨底座和石墨塞头,石墨塞头与塞杆相连接,塞杆穿置在连铸炉坩埚盖和连铸炉炉壳炉盖中,塞杆的另一头与一个气缸相连接,上述气缸由气动控制器控制操作,其特征在于石墨底座位于略高于坩埚底部的镁液流道入口处,石墨底座呈斗形,石墨塞头的下端呈锥形。本发明的镁合金连铸炉用塞棒装置可以把连铸炉的工艺参数输入气动控制器,实现对气缸的上下移动控制,通过塞杆的升降,使石墨塞头与石墨底座离合,导通和阻断镁液进入流道,实现镁液限流的作用。本发明具有自动控制、安全、有效的特点。
  • 镁合金连铸炉用塞棒装置

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