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[发明专利]具有非对称电热丝结构的基座加热器块-CN202180069006.2在审
发明人：李俊皞;崔东铁;安世赫;洪明基;朴珍万 -专利权人： 马卡罗有限公司
申请日： 2021-10-07 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：本发明提供一种用于化学气相沉积机的基座加热器块，其特征在于，表面设置有真空施加结构以通过真空吸附固定晶圆，具有用于向晶圆背面供应温度均匀化用气体的供气孔和用于加热晶圆的电热丝，所述电热丝的设置成在相当于晶圆中心部的加热器块的中心部大于其外侧的周围部。其中，为了便于设置，电热丝的布置可以采用耳蜗状等非对称式，而不是左右对称式，在非对称式的情况下，可以设置成弹筒式加热器。根据本发明，当晶圆或基板放置于基座加热器块并执行化学气相沉积工艺时，对基板背面施加低压，如3托以下的低压而真空吸附力增加时，通过在相当于晶圆中容易成为低温的位置的加热器块的中心部以大于周围部的设置密度设置加热器，能够在沉积工艺过程中整个晶圆的温度偏差与现有技术相比减少，能够提高晶圆上沉积的膜的厚度均匀度和均质性。
具有对称电热丝结构基座加热器

[发明专利]太阳能发电模块及其制造方法-CN202210735844.5在审
发明人：张赫奎;李奎贤 -专利权人： 马卡罗有限公司
申请日： 2022-06-27 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： H01L31/048 文献下载
摘要：本发明涉及一种包括供插入太阳能电池(200)的下部基板(100)和配置在所述下部基板(100)上的上部基板(300)的太阳能发电模块，所述下部基板(100)包括贯通所述下部基板(100)的贯通部(110)或在所述下部基板(100)上以凹槽的形态形成的空间凹部(115)，所述太阳能电池(200)配置在所述下部基板(100)的所述贯通部(110)或所述空间凹部(115)之间的空间，所述上部基板(300)配置在插入所述太阳能电池(200)的所述下部基板(100)的上部。
太阳能发电模块及其制造方法

[发明专利]基于化学气相沉积法的钙钛矿太阳能电池吸收层的制备方法-CN202080033204.9在审
发明人：张赫奎;李奎贤;李昭衍 -专利权人： 马卡罗有限公司
申请日： 2020-06-02 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： H01L51/48 文献下载
摘要：本发明揭示适用化学气相沉积法来制备钙钛矿太阳能电池的光吸收层的方法。利用化学气相沉积法来制备钙钛矿太阳能电池光吸收层的方法，包括：利用化学气相沉积法，在基板上形成PbIx薄膜的步骤，向PbIx(1≤x≤2)薄膜上供给甲胺(methylamine)和碘(I)前体的步骤，以及通过热处理形成具有钙钛矿结构的CH3NH3PbIx薄膜的步骤。
基于化学沉积钙钛矿太阳能电池吸收制备方法