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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种半导体器件及其的阴极结构-CN202110519068.0在审
发明人：洪志苍;饶睿恩 -专利权人：常州纵慧芯光半导体科技有限公司
申请日： 2021-05-12 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： H01S5/042 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体器件及其的阴极结构，该阴极结构包括形成在衬底下表面的欧姆接触层，阻隔金属层和表面金属层；所述欧姆接触层包括n个第一半导体接触金属层和n个第二半导体接触金属层，所述第一半导体接触金属层与所述第二半导体接触金属层交替设置，其中，1n≤10，n为正整数；所述欧姆接触层用于与所述衬底形成欧姆接触，所述阻隔金属层用于阻隔所述表面金属层中的金属粒子扩散至所述欧姆接触层中，所述表面金属层用于连接外部电极，该种阴极结构使得阴极结构与衬底形成欧姆接触时可提升界面金属融合，以减小欧姆接触效应形成的过程中对器件自身的性能与可靠性的影响。
一种半导体器件及其阴极结构

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