专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体装置的制造方法-CN200510106862.3有效
  • 野间崇;冈田和央;山田紘士;饭田正则 - 三洋电机株式会社
  • 2005-09-26 - 2006-03-29 - H01L21/28
  • 一种半导体装置的制造方法,在芯片尺寸封装型半导体装置的制造方法中,提高其可靠性。在半导体衬底(10)的表面介由第一绝缘膜(11)形成支承体(14)。然后,将半导体衬底(10)的一部分从该背面选择性地进行蚀刻而形成开口部(10w)后,在该背面形成第二绝缘膜(17)。然后,选择性地蚀刻开口部(10w)的底部的第一绝缘膜(11)及第二绝缘膜(16),露出该开口部(10w)的底部的焊盘电极(12)。然后,在从半导体衬底(10)的背面到位于开口部(10w)的侧壁和底部的边界的第二绝缘膜上,选择性地形成有第三抗蚀层(18)。之后,按照规定的图案,选择性地形成与开口部(10w)的底部的焊盘电极(12)电连接,并在半导体衬底(10)的背面上延伸的配线层(19)。
  • 半导体装置制造方法

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