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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]涂覆装置及其操作方法-CN200610091844.7有效
发明人：朴正权;李昇凡;陈尚萤 -专利权人： LG.菲利浦LCD株式会社
申请日： 2006-06-12 - 公布日： 2007-01-10 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：一种用于在对基板涂覆树脂期间防止基板上的杂质以及残留在基板底部的载物台上的杂质对非旋转涂覆机的喷嘴的损伤的涂覆装置及其操作方法。该涂覆装置包括载物台、喷嘴、喷嘴清洁器以及载物台清洁器。载物台用于在其上放置基板。喷嘴将树脂排放到基板上来执行涂覆。喷嘴清洁器清洁喷嘴。载物台清洁器清洁载物台。所述操作方法包括以下步骤：从载物台顶部移除经涂覆的第一基板；利用载物台清洁器清洁载物台；将待涂覆的第二基板引入到清洁后的载物台上；以及通过喷嘴将树脂排放到第二基板上且涂覆第二基板。
装置及其操作方法

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