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- [发明专利]含有芳香环的光致产酸剂-CN200910206329.2有效
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吴贞薰;徐东辙;申珍奉
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锦湖石油化学株式会社
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2009-10-15
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2010-06-09
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G03F7/039
- 本发明提供一种由下式(1)表示的产酸剂:[式1]其中X表示具有1-10个碳原子的亚烷基、-X1-O-X2-、或选自氮、硫和氟的杂原子;X1和X2彼此独立地表示具有1-10个碳原子的亚烷基;Y表示具有5-30个碳原子并含有一个或多个芳香环的环烃基,该环烃基的环上的一个或多个氢原子可以被一个或多个选自以下组中的成员取代:-O-Y1、-CO-Y2、具有1-6个碳原子的烷基、具有1-6个碳原子的烷氧基、具有1-4个碳原子的全氟烷基、具有1-4个碳原子的全氟烷氧基、具有1-6个碳原子的羟基烷基、卤素原子、羟基和氰基;Y1和Y2彼此独立地表示具有1-6个碳原子的烷基;n表示0至5的整数;和A+表示有机反离子。依据本发明的产酸剂具有的优势在于其具有如下特征:酸扩散率、扩散距离、酸度和在使用ArF光源时的透光率可以通过引入含有芳香环的阴离子基团而被适当地控制。
- 含有芳香光致产酸剂
- [发明专利]用于化学放大型抗蚀剂组合物的酸生成剂-CN200910137868.5有效
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金眞湖;吴贞薰;任铉淳
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锦湖石油化学株式会社
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2009-04-29
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2009-11-25
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C07C381/12
- 提供了一种由下式(1)或(2)表示的酸生成剂,该酸生成剂包含在化学放大型抗蚀剂组合物中:(如图)其中在式(1)和(2)中,X表示取代或未取代的具有1-20个碳原子的烷基,并且选自烷基、卤烷基和烷基磺酰基,其可以具有至少一个被醚基、酯基、羰基、缩醛基、腈基、氰基、羟基、羧基或醛基取代的氢原子,或者表示具有1-4个碳原子的全氟烷基;R6表示具有1-10个碳原子的烷基、具有1-10个碳原子的烷氧基,或表示选自氮、硫、氟和氧的杂原子;m是0-2的整数;A+是有机抗衡离子。当与基于具有大的环脂族环的阴离子的那些光-酸生成剂、以及具有相对短链且具有疏水特性的那些光-酸生成剂、例如现有的三氟甲磺酸酯或九氟丁磺酸酯型的试剂相比,本发明的酸生成剂就扩散速率或分散性而言具有中间体的物理性能,因此在控制扩散速率和分散性上通过实现具有高分辨率的抗蚀剂而具有优势。
- 用于化学大型抗蚀剂组合生成
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