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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]用于等离子体蚀刻腔室的TCCT匹配电路-CN201310503860.2有效
发明人：龙茂林;里基·马士;亚历克斯·帕特森 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2013-10-23 - 公布日： 2014-05-07 - 主分类号： H03K19/00 文献下载
摘要：本发明涉及用于等离子体蚀刻腔室的TCCT匹配电路，具体而言，本发明公开了匹配电路，其包括以下部分：功率输入电路，其与RF源耦合；内线圈输入电路，其耦合在功率输入电路和内线圈的输入端子之间，所述内线圈输入电路包括电感器和与所述电感器串联地耦合的电容器，电感器与功率输入电路连接，并且电容器与内线圈的输入端子连接，第一节点限定在功率输入电路和内线圈输入电路之间；内线圈输出电路，其耦合在内线圈的输出端子和地之间，内线圈输出电路限定与地的直接贯通连接；外线圈输入电路，其耦合在第一节点和外线圈的输入端子之间；以及外线圈输出电路，其耦合在外线圈的输出端子和地之间。
用于等离子体蚀刻 tcct 匹配电路

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