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[发明专利]电极形成装置以及电极形成方法-CN201410493818.1在审
发明人：栗原弘邦;郡司升一;川野敬生;矢作睦行;桥本尚明 -专利权人：株式会社日立制作所
申请日： 2014-09-24 - 公布日： 2015-04-15 - 主分类号： H01L21/60 文献下载
摘要：本发明涉及电极形成装置以及电极形成方法，提供处理效率高的电极形成装置以及电极形成方法。电极形成装置(S)具备：焊剂涂覆单元(F)，在基板(B)上涂覆焊剂；多个球填充单元(G1、G2)，在焊剂涂覆单元(F)的下游侧串联地配置，向涂覆了焊剂的基板(B)填充导电性球而形成电极；和第1输送装置(21)、第2输送装置(22)、第1旁路运输机(C313)、以及第2旁路运输机(C323)，向该球填充单元(G1、G2)中的一个球填充单元输送基板(B)，并且以绕行其他球填充单元的方式输送基板(B)。
电极形成装置以及方法

[实用新型]液晶滴落装置-CN201020140962.4有效
发明人： 郡司升一;川隅幸宏;小菅忠男;石田茂 -专利权人：株式会社日立工业设备技术
申请日： 2010-03-15 - 公布日： 2011-03-30 - 主分类号： G02F1/1341 文献下载
摘要：本实用新型的课题在于提供一种调整等事前准备容易的、能够将适量的液晶剂滴落在玻璃基板上的液晶滴落装置。液晶滴落装置(1)中，使喷嘴(33)位于下方且垂直配置微型注射器(30)，液晶罐(20)经由第二供给管(23)、缓冲罐(21)、第一供给管(22)与配置在前端部(30a)和喷嘴(33)之间的三通阀(34)连接。控制装置(10)切换三通阀(34)以使前端部(30a)和第二供给管(23)连通，使活塞(31)上升而将液晶剂(LC)从液晶罐(20)吸入微型注射器(30)后，切换三通阀(34)以使前端部(30a)和喷嘴(33)连通，使活塞(31)下降而将微型注射器(30)的液晶剂(LC)从喷嘴(33)喷出。而且，控制装置(10)基于活塞(31)下降时的移动量算出液晶剂(LC)的喷出量。
液晶滴落装置