专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]生产单晶硅的方法-CN200610149906.5有效
  • 赵铉鼎;李洪雨;郑镇秀;金仙美 - 希特隆股份有限公司
  • 2003-12-23 - 2007-07-11 - C30B29/06
  • 本发明涉及一种使用Czochralski法生产单晶硅锭的方法,该方法可提供具有非常均匀的平面质量的硅片,因而提高半导体装置的产量。本发明建议一种用Czochralski法生产单晶硅锭的方法,其中,当熔硅对流被分为核单元和外单元时,单晶硅锭在核单元水平方向最大宽度是熔硅表面半径的30-60%的条件下生长。在一个实施例中,单晶硅锭在核单元垂直方向最大深度等于或大于熔硅最大深度的50%的情况下生长。
  • 生产单晶硅方法

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