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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于使用反转图案形成图案的方法-CN202110054311.6在审
  • 李政衡;朴萨汉;宋姝璃;林志英;郑相禧 - 爱思开海力士有限公司
  • 2021-01-15 - 2022-01-04 - H01L21/033
  • 本公开提供一种用于使用反转图案形成图案的方法。在形成图案的方法中，可以在下反转层上形成第一上反转图案和第二上反转图案。可以形成缓冲层以填充由第一上反转图案提供的第一开口部分。可以形成遮蔽图案以覆盖缓冲层的第二区域。可以使用遮蔽图案和第一上反转图案作为第一刻蚀掩模来执行刻蚀工艺，以形成第一下反转图案以及缓冲层图案和与遮蔽图案重叠的第二下反转图案，该第一下反转图案提供与第一开口部分重叠的第二开口部分。可以形成硬掩模层并进行刻蚀以分离填充第一开口部分和第二开口部分的硬掩模层第一图案。可以使用硬掩模层第一图案和第二上反转图案作为刻蚀掩模来执行刻蚀工艺，以形成与第二上反转图案重叠的第三下反转图案。
  • 用于使用反转图案形成方法
  •  1 
  • 共 1 条
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